[發明專利]用于固持基板的方法和支撐件

有效

• 申請號: 201580078916.1
• 申請日: 2015-05-08
• 公開（公告）號: CN107873062B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 西蒙·劉
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C03C17/00;B65G49/06;B23Q3/08
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

一種用于固持基板的方法和支撐件，其中支撐件包括在運輸系統中，運輸系統被構造以運輸基板。所述方法包括將粘合劑附接至支撐件并且將所述粘合劑附接至基板，其中粘合劑的材料是合成剛毛材料，并且其中粘合劑被構造以將基板附接至支撐件。另外，基板的厚度為約0.3mm或更小，和/或其中基板具有1.4m²或更大的尺寸。支撐件包括支撐件主體和粘合劑，其中粘合劑的材料是合成剛毛材料，并且其中粘合劑被構造以將支撐件主體附接至基板，其中支撐件包括在運輸系統中，運輸系統被構造以運輸基板。

技術領域

本發明的實施方式涉及用于基板處理(例如，用于層沉積)的方法和支撐件以及用于實施所公開的方法的設備。本發明的實施方式尤其涉及用于在基板處理機器中支撐具有狹窄厚度的大面積基板的方法和支撐件以及用于處理大面積基板的設備。特定來說，實施方式涉及用于將基板固持在一個支撐件、多個支撐件和多個基板上的方法。

背景技術

用于在基板上沉積材料的若干方法是已知。例如，基板可通過物理氣相沉積(PVD)工藝、化學氣相沉積(CVD)工藝、等離子體增強的化學氣相沉積 (PECVD)工藝等涂覆。通常，工藝在待涂覆的基板所位于的處理設備或處理腔室中進行。沉積材料提供在設備中。多種材料及其氧化物、氮化物或碳化物可用于在基板上的沉積。此外，其他處理動作如蝕刻、結構化、退火等等可在處理腔室中進行。

已涂覆的材料可用于若干應用和多個技術領域中。例如，已涂覆的材料可用于微電子領域中，諸如用于產生半導體裝置。此外，用于顯示器的基板經常通過PVD工藝涂覆。另外應用包括絕緣板、有機發光二極管(OLED)板、具有 TFT的基板、濾色片等等。

具體來說，針對領域諸如顯示器生產、薄膜太陽能電池的制造和相似應用，處理了大面積玻璃基板。過去，基板尺寸持續增加，此增加仍在持續。玻璃基板的增加尺寸使得在不通過玻璃破裂犧牲產量的情況下處置、支撐和處理所述玻璃基板日益具有挑戰性。

通常，在處理玻璃基板期間，所述玻璃基板可支撐在載體上。載體驅使玻璃或基板穿過處理機器。載體通常形成沿著基板周邊支撐基板表面的框架或板，或在板的情形中，所述載體支撐表面本身。特定來說，框架形狀的載體也可用于掩蔽玻璃基板，其中在由所述框架圍繞的所述載體中的孔提供了用于涂覆待在已暴露的基板部分上沉積的材料的孔或用于在由孔暴露的基板部分上作用的其他處理動作的孔。

歸因于在沉積工藝期間施加至基板的應力，朝向更大且更薄的基板的趨勢可導致基板凸起(bulging)。通常，例如，歸因于朝向基板中心推動基板邊緣的力，在沉積工藝期間固持基板的支撐系統將凸起引入基板上。歸因于增加的破裂可能性，凸起可繼而又導致問題。由此，存在對減少凸起并使包括在運輸系統中的支撐件能夠不破裂地運輸更大且更薄的基板，以及改進已涂覆的材料層的質量的需求。

另外，通常，嚴格限制在沉積腔室內可用于固持基板的空間。由此，也存在有對減少用于在沉積腔室內固持基板的支撐系統所采用的空間的需求。

鑒于上述，有利地提供了克服本領域中的至少一些問題的用于固持基板的方法和支撐件。

發明內容

鑒于上述，提供了一種根據獨立權利要求的用于將基板固持在支撐件上的方法，其中支撐件包括在運輸系統中，運輸系統被構造以運輸基板。根據另一實施方式，提供了一種根據另一獨立權利要求的支撐件。根據另一實施方式，提供了一種根據另一獨立權利要求的包括粘合劑的基板。進一步的方面、優點和特征從從屬權利要求、描述和附圖中顯而易見。

根據一個實施方式，提供了一種用于將基板固持在支撐件上的方法，其中支撐件包括在運輸系統中，運輸系統被構造以在基板處理腔室中運輸基板。所述方法包括：將粘合劑附接至支撐件并且將粘合劑附接至基板，其中粘合劑的材料是合成剛毛材料，并且其中粘合劑被構造以將基板附接至支撐件。