[發(fā)明專利]帶靜壓密封件的馬達(dá)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580078765.X | 申請日: | 2015-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN107533966B | 公開(公告)日: | 2020-05-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 丸山利喜;古田一雅 | 申請(專利權(quán))人: | 諧波傳動系統(tǒng)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/304 | 分類號: | H01L21/304;F16C33/72;H01L21/683;H02K5/10 |
| 代理公司: | 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 李偉;陳東升 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 靜壓 密封件 馬達(dá) | ||
1.一種帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
所述帶靜壓密封件的馬達(dá)具有:
馬達(dá)殼體;
編碼器罩,其安裝于所述馬達(dá)殼體的后端;
分隔板,其對在所述馬達(dá)殼體的內(nèi)部形成的馬達(dá)室和在所述編碼器罩的內(nèi)部形成的編碼器室之間進(jìn)行分隔;
馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸,其以貫穿所述馬達(dá)殼體的殼體前板部分、所述分隔板以及所述編碼器罩的罩背板部分的方式延伸;
第一靜壓密封部,其將所述殼體前板部分與從該殼體前板部分向前方突出的所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸的第一軸端部之間的間隙封閉;
第二靜壓密封部,其將所述罩背板部分與從該罩背板部分向后方突出的所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸的第二軸端部之間的間隙封閉;
分隔板連通路,其形成于所述分隔板,用于將所述馬達(dá)室和所述編碼器室連通;以及
排氣口,其形成于所述編碼器罩,用于將所述編碼器室和外部連通,
所述第一靜壓密封部具備第一密封環(huán),在該第一密封環(huán)與所述第一軸端部的外周面之間形成有由從外部供給的密封氣體密閉的第一密封間隙,
所述第一密封間隙以以下方式形成:利用供給至所述第一密封間隙的所述密封氣體的一部分,形成從該第一密封間隙朝向所述馬達(dá)室的外部和所述馬達(dá)室的內(nèi)部的氣流,
所述第二靜壓密封部具備第二密封環(huán),在該第二密封環(huán)與所述第二軸端部的外周面之間形成有由從外部供給的密封氣體密閉的第二密封間隙,
所述第二密封間隙以以下方式形成:利用供給至所述第二密封間隙的所述密封氣體的一部分,形成從該第二密封間隙朝向所述編碼器室的外部和所述編碼器室的內(nèi)部的氣流。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
所述第一密封環(huán)具備在其外周面形成的密封氣體的第一供氣口,
所述第一密封間隙具備:圓環(huán)狀的第一供氣滯留部,密封氣體從所述第一供氣口供給至該第一供氣滯留部;圓環(huán)狀的第一內(nèi)側(cè)間隙,其將所述第一供氣滯留部和所述馬達(dá)室內(nèi)連通,且比該第一供氣滯留部窄;以及圓環(huán)狀的第一外側(cè)間隙,其將所述第一供氣滯留部和外部連通,且比所述第一供氣滯留部窄,
所述第二密封環(huán)具備在其外周面形成的密封氣體的第二供氣口,
所述第二密封間隙具備:圓環(huán)狀的第二供氣滯留部,密封氣體從所述第二供氣口供給至該第二供氣滯留部;圓環(huán)狀的第二內(nèi)側(cè)間隙,其將所述第二供氣滯留部和所述編碼器室內(nèi)連通,且比該第二供氣滯留部窄;以及圓環(huán)狀的第二外側(cè)間隙,其將所述第二供氣滯留部和外部連通,且比所述第二供氣滯留部窄。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
所述帶靜壓密封件的馬達(dá)具有:
馬達(dá)側(cè)軸承,其安裝于所述馬達(dá)室內(nèi)的所述殼體前板部分,且對所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行支承;以及
編碼器側(cè)軸承,其安裝于所述分隔板,且對所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行支承。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
在所述殼體前板部分的安裝有所述馬達(dá)側(cè)軸承的軸承安裝部形成有迂回路,該迂回路使得密封氣體繞過所述馬達(dá)側(cè)軸承,并將該密封氣體從所述第一密封間隙的所述第一內(nèi)側(cè)間隙向所述馬達(dá)室內(nèi)引導(dǎo)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
配置于所述編碼器室內(nèi)的馬達(dá)編碼器是磁編碼器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶靜壓密封件的馬達(dá),其特征在于,
所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)軸是中空軸。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





