[發(fā)明專利]純凈氣室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580078392.6
• 申請日: 2015-10-26
• 公開（公告）號: CN107371371B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: G·施普賴策;M·克普克;T·布爾特曼
• 申請（專利權(quán)）人: 布勞恩惰性氣體系統(tǒng)有限公司;布勞恩惰性氣體系統(tǒng)（上海）有限公司
• 主分類號: E04B1/12
• 分類號: E04B1/12;E04B1/343;E04H5/02;E04H15/62;B01L1/04
• 代理公司: 北京市路盛律師事務(wù)所 11326
• 代理人: 馬飛;王桂玲

本發(fā)明涉及純凈氣室(10)，純凈氣室具有相對于周圍環(huán)境密封的由側(cè)壁(30、30.1?30.10)包圍的內(nèi)部空間。對此規(guī)定，純凈氣室的側(cè)壁的至少一部分由一個或多個結(jié)構(gòu)型芯板(12)、尤其一個或多個蜂窩式型芯板形成，結(jié)構(gòu)型芯板分別具有兩個蓋板(12.1、12.2)和布置在兩個蓋板之間的結(jié)構(gòu)型芯(12.3)、尤其蜂窩式型芯，沿著純凈氣室的角部彎曲一蓋板，并且使另一蓋板與結(jié)構(gòu)型芯分離。用結(jié)構(gòu)型芯板構(gòu)造的純凈氣室使得純凈氣室的重量明顯降低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及純凈氣室，純凈氣室具有相對于周圍環(huán)境密封的由側(cè)壁包圍的內(nèi)部空間。

背景技術(shù)

在生產(chǎn)和研發(fā)中的大量制造工藝和工序都不能在普通的環(huán)境條件下進行，而是需要特殊的氣氛。這種制造工藝可以是鍍層過程、例如在半導(dǎo)體制造中；在LCD或OLED制造中的包封步驟或高純度原材料的制造工藝、例如在醫(yī)學(xué)和制藥領(lǐng)域中；以及在焊接應(yīng)用中、例如鈦焊接。這些工藝例如會要求凈室條件、低濕度、惰性氣體氣氛或各種的這類條件以及其他條件的組合。

已知的是，這種制造工藝或工序在封閉的空間中進行，在封閉的空間中可根據(jù)所需條件設(shè)定氣氛。封閉的空間具有閘門，通過閘門能夠?qū)⑺璧牟牧弦敕忾]的空間中并且能夠?qū)a(chǎn)品取出。

這種空間例如構(gòu)造在所謂的手套箱中，如在文獻(參見“凈室技術(shù)”，第三版更新，由Springer出版，第202-207頁)中充分地描述。這種手套箱主要由不銹鋼制成。手套箱提供如下可能，通過手套執(zhí)行件在手套箱之內(nèi)期望的工序。為了設(shè)定所需的氣氛，使相應(yīng)的氣體輸入部或用于從手套箱排出氣體的循環(huán)管路通過至少一個氣體處理單元來引導(dǎo)，然后再次輸送給手套箱。這種手套箱基于其構(gòu)造尤其在大的制造設(shè)備中會很難集成到制造線中，因為需要包圍住的設(shè)備僅能通過設(shè)置的閘門引入手套箱中。

因此，已知有在外罩設(shè)計中的惰性氣體殼體。外罩與底板形成包圍住的空間，在該空間中可設(shè)定所需的氣氛。預(yù)安裝的外罩從上面放置到底板上并且密封。所需的貫穿部、閘門、連接在前面的腔室和其他所需的機組和組件優(yōu)選已經(jīng)安裝在外罩上并且進行了測試。因此可快速地將惰性氣體殼體搭建在設(shè)置的工位或生產(chǎn)場地上。外罩設(shè)計的方法提供以下可能性，能夠在閉合的空間中運行設(shè)備或設(shè)備部分，能夠根據(jù)需要設(shè)定空間的氣氛。對此，外罩的尺寸與相應(yīng)的設(shè)備匹配。用于建造惰性氣體殼體的材料設(shè)計成，該材料沒有(例如通過污染物或廢氣)改變在殼體內(nèi)部的氣氛。此外，如此進行包圍，使得在惰性氣體殼體的內(nèi)部空間和周圍環(huán)境之間沒有氣體交換。已知惰性氣體殼體由不銹鋼或鋁制成。這種惰性氣體殼體的缺點是其重量大，這是由所述結(jié)構(gòu)形式和所使用的材料造成的。大的重量一方面難以使外罩從上方倒扣在相應(yīng)設(shè)備上，因為必須有能相應(yīng)負載的升降裝置。此外，除了被包圍的設(shè)備之外，惰性氣體殼體增加了底部負荷。這在需要搭建純凈氣室的建筑物的地面負荷能力不夠的情況下需要大范圍的并且昂貴的改造措施來提高地面靜力學(xué)。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的是提供用于容納設(shè)備和設(shè)備部件的純凈氣室，純凈氣室的內(nèi)部空間相對于周圍環(huán)境密封，可根據(jù)設(shè)備或設(shè)備部件的運行要求設(shè)定純凈氣室的氣氛并且純凈氣室自重小。

本發(fā)明的目的通過以下方式實現(xiàn)，純凈氣室的側(cè)壁的至少一部分由一個或多個結(jié)構(gòu)型芯板、尤其一個或多個蜂窩式型芯板形成，其分別具有兩個蓋板和布置在兩個蓋板之間的結(jié)構(gòu)型芯、尤其蜂窩式型芯。在本發(fā)明中，結(jié)構(gòu)型芯板應(yīng)尤其理解為這種板形構(gòu)件，其構(gòu)造成三明治形狀并且具有兩個或多個蓋板，在蓋板之間布置結(jié)構(gòu)型芯。對此，結(jié)構(gòu)型芯可以是任意的、尤其輕質(zhì)建筑結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)型芯例如可由蜂窩式型芯、波紋形或回形紋形狀的材料、泡沫材料等構(gòu)成。