[發(fā)明專利]電設(shè)備中的導(dǎo)熱ALD涂層

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580077953.0
• 申請(qǐng)日: 2015-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN107429395A
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·科斯塔莫;T·勒托;M·卡里亞;O·哈梅諾亞;J·薩爾米南
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皮考遜公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;H01L23/373;H05K7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 酆迅

1.一種用于在襯底的表面上提供導(dǎo)熱涂層的方法，包括：

通過ALD在所述襯底的所述表面上沉積第一材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層；其中

所述第一材料具有比所述襯底低的熱導(dǎo)率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：通過ALD在第一材料的至少一個(gè)所述層上沉積第二材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，還包括：沉積所述第一材料和所述第二材料的交替層。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述第一材料和/或所述第二材料的所述薄的連續(xù)層是非晶的。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述襯底包括高熱導(dǎo)率材料。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述第一材料和/或所述第二材料包括非晶金屬氧化物。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述第一材料和/或所述第二材料包括從包括鋁、鎂、鉿、鈦、鉭和鋯的組中選擇的材料。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的方法，其中所述第一材料和/或所述第二材料從包括氧化鋁、氧化鎂、氧化鉿、氧化鈦、氧化鉭和氧化鋯的組中選擇。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述涂層的厚度達(dá)到250nm。

10.一種導(dǎo)熱涂層，包括：

第一材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層，其通過ALD而被沉積在襯底的表面上；其中

所述第一材料具有比所述襯底低的熱導(dǎo)率。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂層，還包括：第二材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層，其通過ALD而被沉積在第一材料的至少一個(gè)所述層上。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，還包括：所述第一材料和所述第二材料的交替層，其通過ALD而被沉積。

13.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，其中所述第一材料和/或所述第二材料的所述薄的連續(xù)層是非晶的。

14.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，其中所述第一材料和/或所述第二材料包括非晶金屬氧化物。

15.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，其中所述第一材料和/或所述第二材料包括從包括鋁、鎂、鉿、鈦、鉭和鋯的組中選擇的材料。

16.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，其中所述第一材料和/或所述第二材料來自包括氧化鋁、氧化鎂、氧化鉿、氧化鈦、氧化鉭和氧化鋯的組。

17.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的涂層，其中所述涂層的厚度達(dá)到250nm。

18.一種熱傳遞裝置，包括：

襯底；以及

根據(jù)權(quán)利要求10至17中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱涂層。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的熱傳遞裝置，其中所述襯底包括高熱導(dǎo)率材料。

20.一種裝置，包括：

熱源；以及

根據(jù)權(quán)利要求10至17中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱涂層；或者

根據(jù)權(quán)利要求18至19中的任一項(xiàng)所述的熱傳遞裝置。

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述裝置是電子設(shè)備、照明設(shè)備或微處理器。

22.一種方法，包括：

將來自電設(shè)備的熱源的熱量接收到ALD層中，所述ALD層具有第一材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層；以及

在所述ALD層中，通過聲子、將所接收的熱量遠(yuǎn)離所述熱源而傳遞。

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述ALD層包括根據(jù)權(quán)利要求10至17中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱涂層。

24.根據(jù)權(quán)利要求23或24所述的方法，其中所述ALD層利用根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的方法來提供。

25.一種電子裝置，包括：

熱源；以及

ALD層，具有第一材料的至少一個(gè)薄的連續(xù)層，所述裝置被配置為：在所述ALD層中，通過聲子、將從熱源接收到所述ALD層中的熱量遠(yuǎn)離所述熱源而傳遞。