[發(fā)明專利]襯底固持器和用于接合兩個(gè)襯底的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580077827.5
• 申請(qǐng)日: 2015-04-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107533996B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T.瓦根萊特納;T.普拉赫;J.M.聚斯;J.馬林格
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: EV集團(tuán)E·索爾納有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 盧江;杜荔南

1.一種用于將第一襯底(11)與第二襯底(11')接合的方法，其中在第一步驟中使所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')彼此靠近，通過(guò)所述第二襯底（11'）的熱輻射使得所述第一襯底(11)的溫度(T2o、T3o)提高；其中在第二步驟中，停止所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')的靠近且所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')之間的距離(d3)保持恒定，使得在恒定距離(d3)下，在至少一個(gè)時(shí)間段(t1)內(nèi)出現(xiàn)第一襯底(11)的恒定溫度(T4o)；其中在第三步驟中，在所述時(shí)間段(t1)內(nèi)，在所述第一襯底(11)的恒定溫度(T4o)下，將所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')至少暫時(shí)地彼此接合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述時(shí)間段(t1)內(nèi)出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所處的距離(d3)處于1 mm與0 mm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在所述時(shí)間段(t1)內(nèi)出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所處的距離(d3)處于100 μm與0 μm之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述時(shí)間段(t1)內(nèi)出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所處的距離(d3)處于10 μm與0 μm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述時(shí)間段(t1)內(nèi)出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所處的距離(d3)處于1 μm與0 μm之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一所述的方法，其特征在于，在恒定距離(d3)下出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所持續(xù)的時(shí)間段(t1)大于5秒。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，在恒定距離(d3)下出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所持續(xù)的時(shí)間段(t1)大于10秒。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，在恒定距離(d3)下出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所持續(xù)的時(shí)間段(t1)大于15秒。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，在恒定距離(d3)下出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所持續(xù)的時(shí)間段(t1)大于20秒。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，在恒定距離(d3)下出現(xiàn)所述恒定溫度(T4o)所持續(xù)的時(shí)間段(t1)大于25秒。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，所述時(shí)間段(t1)、所述距離(d3)和/或所述恒定溫度(T4o)在第一步驟之前被確定，所述確定憑經(jīng)驗(yàn)考慮：所述第二襯底(11')的溫度；用于固定所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')中的至少一個(gè)的襯底固持器(14、1、1'、1''、1'''、1^IV)、用于將熱從所述襯底固持器的固定表面導(dǎo)出和/或用于向所述襯底固持器的固定表面輸送熱的導(dǎo)熱本體(2、2'、2''、2'''、2^IV)、和/或所述第一襯底(11)與所述第二襯底(11')的材料；和/或所述靠近的速度。