[發明專利]用于檢測導電和/或可極化粒子的傳感器、傳感器系統、用于操作傳感器的方法、此類型傳感器的制造方法以及此類型傳感器用途有效

申請號：	201580076848.5	申請日：	2015-12-23
公開（公告）號：	CN107430053B	公開（公告）日：	2021-02-23
發明（設計）人：	蒂姆·阿斯穆斯;卡爾海因茨·韋南德;斯蒂芬·迪耶特曼;馬丁·孔茨	申請（專利權）人：	賀利氏耐克森索斯有限責任公司
主分類號：	G01N15/06	分類號：	G01N15/06
代理公司：	上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260	代理人：	成麗杰
地址：	德國小奧***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于檢測導電極化粒子傳感器系統操作方法類型制造以及用途
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【權利要求書】：

1.一種用于檢測導電和/或可極化粒子的傳感器(10)，所述傳感器(10)還用于檢測煙塵粒子(30)的尺寸，

其特征在于，包括

-襯底(11)，

-第一電極層(12)，

-第二電極層(13)，其布置在所述襯底(11)和所述第一電極層(12)之間，

-至少一第一絕緣層(14)，其形成于所述第一電極層(12)和所述第二電極層(13)之間，

-至少一第三電極層(50)，其形成于所述第一絕緣層(14)和所述第一電極層(12)之間，以及

-至少一第二絕緣層(60)，其形成于所述第三電極層(50)和所述第一電極層(12)之間，

至少一個開口(15、16、70、71)，其分別形成于所述第一電極層(12)中、所述至少第二絕緣層(60)中、所述至少第三電極層(50)中和所述第一絕緣層(14)中，所述第一電極層(12)中的開口(15)、所述至少第二絕緣層(60)中的開口(71)、所述至少第三電極層(50)中的開口(70)和所述第一絕緣層(14)中的開口(16)彼此層疊布置，以便形成通向所述第二電極層(13)的至少一條通道(17、17'、17)；所述至少一條通道的底部(28)由第二電極層的一部分形成，使得所述粒子通過所述通道(17、17'、17)到達所述底部(28)，其中所述開口(15、16、70、71)的尺寸在所述第一電極層(12)朝向所述第二電極層(13)的方向上逐漸減小。

2.根據權利要求1所述的傳感器(10)，

其特征在于

所述第一電極層(12)中的所述開口(15)形成于距所述第一電極層(12)的外圍區一距離處，所述第一絕緣層(14)中的所述開口(16)形成于距所述第一絕緣層(14)的外圍區一距離處，且所述至少第三電極層(50)中的所述開口(70)形成于距所述第三電極層(50)的外圍區一距離處，且所述至少第二絕緣層(60)中的所述開口(71)形成于距所述第二絕緣層(60)的外圍區一距離處。

3.根據權利要求1所述的傳感器(10)，

其特征在于

所述第二電極層(13)間接連接到所述襯底(11)，或直接連接到所述襯底(11)。

4.根據權利要求1所述的傳感器(10)，

其特征在于

所述至少一第一絕緣層(14)和/或所述至少第二絕緣層(60)的厚度(d)是0.1μm-50μm。

5.根據權利要求1所述的傳感器(10)，

其特征在于

所述至少一第一絕緣層(14)和/或所述至少第二絕緣層(60)由選自以下各者組成的群組的材料形成：氧化鋁(Al₂O₃)或二氧化硅(SiO₂)或氧化鎂(MgO)或氮化硅(Si₂N₄)或陶瓷或玻璃或金屬氧化物或其任何所需組合。

6.根據權利要求1所述的傳感器(10)，

其特征在于

所述第一電極層(12)和/或所述第二電極層(13)和/或所述至少第三電極層(50)是由耐高溫金屬或耐高溫合金形成。