[發明專利]固體激光系統和曝光裝置用激光裝置

有效

• 申請號: 201580075664.7
• 申請日: 2015-03-06
• 公開（公告）號: CN107210576B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 小野瀨貴士;若林理
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;G02F1/37;H01S3/23
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;韓香花

1.一種固體激光系統，具備：

第一固體激光裝置，輸出基于第一種子光生成的第一波長的第一脈沖激光束；

第二固體激光裝置，輸出基于第二種子光生成的第二波長的第二脈沖激光束；

波長轉換系統，供所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束射入，并且輸出由所述第一波長和所述第二波長通過波長轉換而形成的第三波長的第三脈沖激光束；

波長檢測部，檢測所述第三波長的值；以及

波長控制部，在作為所述第三波長的目標值的目標波長的值與由所述波長檢測部檢出的所述第三波長的值之差的絕對值小于等于所定值的情況下，控制所述第一固體激光裝置來改變所述第一波長；在所述絕對值大于所述所定值的情況下，控制所述第二固體激光裝置來改變所述第二波長，其中，該目標波長是從作為外部裝置的曝光裝置指示的目標波長。

2.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述波長檢測部包含設置在所述第三脈沖激光束的光路上的波長監視器。

3.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，

所述波長檢測部包含：

第一波長監視器，設置在所述第一種子光的光路上；

第二波長監視器，設置在所述第二種子光的光路上；以及

運算部，由所述第一波長監視器的測量值和所述第二波長監視器的測量值計算所述第三波長的值。

4.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第一固體激光裝置的所述第一波長的波長可變范圍比所述第二固體激光裝置的所述第二波長的波長可變范圍小。

5.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第一波長比所述第二波長短。

6.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第一固體激光裝置的波長可變速度比所述第二固體激光裝置的波長可變速度快。

7.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第一固體激光裝置包含設置在所述第一種子光的光路上的非線性晶體。

8.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第一固體激光裝置包含輸出第一種子光的外部諧振器型半導體激光器。

9.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述第二固體激光裝置包含輸出第二種子光的分布反饋半導體激光器。

10.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，

所述波長轉換系統包含：

非線性晶體，輸出基于第一和第二入射光通過波長轉換而形成的所定波長的轉換光；以及

旋轉機構，改變射入所述非線性晶體的所述第一和第二入射光的入射角度。

11.根據權利要求10所述的固體激光系統，其中，

所述非線性晶體也輸出波長不同于所述所定波長的光，

并且進一步具備：

光檢測器，設置在波長不同于所述所定波長的所述光的光路上；以及

旋轉控制部，控制所述旋轉機構，以使由所述光檢測器檢出的、波長不同于所述所定波長的所述光的檢出值變得更小。

12.根據權利要求10所述的固體激光系統，其中，進一步具備：

光檢測器，設置在所述轉換光的光路上；以及

旋轉控制部，控制所述旋轉機構，以使所述光檢測器的檢出值變得更大。

13.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，

所述第一固體激光裝置的所述第一波長的波長可變范圍包含波長257.5nm，

所述第二固體激光裝置的所述第二波長的波長可變范圍包含波長1554nm。

14.根據權利要求1所述的固體激光系統，其中，所述波長轉換系統包含CLBO晶體。