[發明專利]加工輔助具及濺鍍靶材的制造方法

有效

• 申請號: 201580074869.3
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN107208258B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 寺村享祐;柴尾正則;武內朋哉
• 申請（專利權）人: 三井金屬礦業株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B24B37/27
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

本發明課題在于抑制圓筒形陶瓷的外周面損傷或破裂的產生。為了解決該課題，一種具體實施方式的加工輔助具具備旋轉體。旋轉體隨著圓筒形陶瓷的旋轉而旋轉。旋轉體的旋轉軸方向的長度為15mm以上，并且旋轉體的至少外周部的材質，為洛氏硬度80以上125以下的樹脂、或是橡膠硬度80以上95以下的橡膠。

技術領域

所揭示的實施方式涉及加工輔助具及濺鍍靶材的制造方法。

背景技術

以往，為人所知的是，有一種于圓筒形靶材的內側配置磁場產生裝置，并從內側使該靶材冷卻，并一邊旋轉一邊進行濺鍍，借此于基板上形成薄膜的濺鍍裝置。

上述圓筒形靶材，例如對作為燒結體的圓筒形陶瓷進行研磨加工而制造。具體而言，例如一邊使圓筒形陶瓷旋轉，一邊以磨石研磨內周面或外周面，調整內徑或外徑的尺寸而制造圓筒形靶材。

上述現有技術中，例如對圓筒形陶瓷的內周面進行研磨加工時，圓筒形陶瓷的一端側通過旋轉機構所保持而旋轉。另一方面，圓筒形陶瓷的另一端側，該外周面通過加工輔助具可旋轉地保持，借此抑制因旋轉所產生的圓筒形陶瓷的振動，而提升研磨精度(例如參考專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-148026號公報。

發明內容

[發明所欲解決的課題]

然而，上述加工輔助具中，從抑制圓筒形陶瓷的損傷或破裂的產生的觀點來看，仍有進一步改善的空間。

即，由于圓筒形陶瓷是機械強度相對較低且脆的材料，所以在如上述般以加工輔助具保持外周面時，因與加工輔助具的接觸，會有在外周面產生較深的損傷或破裂的疑慮。

如此產生損傷或破裂的圓筒形陶瓷，無法用作為濺鍍靶材，所以會有導致濺鍍靶材用圓筒形陶瓷的良率降低的問題。

鑒于上述情形而創作出一種具體實施形式，其目的在于提供一種可抑制圓筒形陶瓷的損傷或破裂的產生的加工輔助具及濺鍍靶材的制造方法。

[用以解決課題的手段]

一種具體實施方式的加工輔助具具備隨著圓筒形陶瓷的旋轉而旋轉的旋轉體。此外，所述旋轉體的旋轉軸方向的長度為15mm以上，并且所述旋轉體的至少外周部的材質，為洛氏硬度(RockwellHardness)80以上125以下的樹脂、或是橡膠硬度80以上95以下的橡膠。

[發明的效果]

根據一種具體實施方式，可抑制圓筒形陶瓷的損傷或破裂的產生。

附圖說明

圖1是顯示具備第一實施方式的加工輔助具的加工裝置的構成例的剖面圖。

圖2是從圓筒形陶瓷的長度方向側觀看圖1所示的加工輔助具附近時的剖面圖。

圖3是顯示圖1所示的加工輔助具的擴大剖面圖。

圖4是顯示制造濺鍍靶材的處理步驟的流程圖。

圖5是顯示第二實施方式的加工輔助具的擴大剖面圖。

主要組件符號說明

1 加工裝置

10 圓筒形陶瓷

20 旋轉機構

30 振動抑制機構

31、131 加工輔助具