[發(fā)明專利]抗蝕永久膜用固化性組合物及抗蝕永久膜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580073572.5
• 申請日: 2015-11-19
• 公開（公告）號: CN107111229B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發(fā)明（設計）人: 今田知之
• 申請（專利權）人: DIC株式會社
• 主分類號: G03F7/022
• 分類號: G03F7/022;C07C39/14;C08G8/04
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

提供一種在溶劑中的溶解性優(yōu)異、而且能得到堿顯影性、耐熱分解性、感光度及分辨率優(yōu)異的涂膜、尤其適于得到抗蝕永久膜的固化性組合物、使用該固化性組合物得到的抗蝕永久膜。具體而言，提供一種抗蝕永久膜用固化性組合物、使該組合物固化而成的抗蝕永久膜，所述抗蝕永久膜用固化性組合物含有：具有下述結構式(1)所示分子結構的含酚羥基化合物(A)和、感光劑(B1)或固化劑(B2)(式(1)中，R¹為氫原子、烷基或芳基，n為2～10的整數(shù)。R²為烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、鹵素原子中任意者，m為0～4的整數(shù)。m為2以上時，多個R²可以彼此相同，也可以不同，且可以鍵合在萘骨架的2個芳香環(huán)中的任意者上)。

技術領域

本發(fā)明涉及在溶劑中的溶解性優(yōu)異、而且能得到堿顯影性、耐熱分解性、感光度及分辨率優(yōu)異的涂膜、尤其適于得到抗蝕永久膜的固化性組合物，另外，本發(fā)明還涉及使用前述固化性組合物而得到的抗蝕永久膜。

背景技術

含酚羥基化合物可以用于粘接劑、成形材料、涂料、光致抗蝕劑材料、環(huán)氧樹脂原料、環(huán)氧樹脂用固化劑等，此外，固化物的耐熱性、耐濕性等優(yōu)異，因此作為將含酚羥基化合物自身作為主劑的固化性樹脂組合物，在電氣·電子領域中被廣泛使用。

在電氣·電子領域中，作為前述固化性組合物的用途，例如可列舉出永久膜。前述永久膜例如可列舉出：在構成IC、LSI等半導體器件、薄型顯示器等顯示裝置的制品的部件上、部件間形成感光性樹脂的覆膜且在制品完成后仍殘留的永久膜。作為該永久膜的具體例，對于半導體器件相關的，可列舉出：阻焊層、封裝材料、底部填充材料、電路元件等的封裝粘接層、集成電路元件與電路基板的粘接層等。另外，對于以LCD、OELD為代表的薄型顯示器相關的，可列舉出：薄膜晶體管保護膜、液晶濾色器保護膜、黑色矩陣、間隔物等。

將前述固化性組合物用于永久膜形成用途的情況下，要求該組合物的溶劑溶解性優(yōu)異，另外，要求得到的涂膜的堿顯影性、耐熱分解性、感光度及分辨率優(yōu)異。作為用于獲得前述永久膜的組合物，例如已知有含有使苯酚、萘酚等具有酚羥基的化合物與醛聚合而得到的酚醛清漆型酚醛樹脂的組合物(例如參照專利文獻1。)。但是，使用該專利文獻1中公開的組合物而得到的涂膜的堿顯影性、靈敏度及分辨率不充分。

另外，作為用于獲得永久膜的組合物，例如，已知包含具有被稱為杯芳烴結構的筒狀結構的含酚羥基化合物的組合物。作為該含酚羥基化合物，具體而言，例如已知有使α-萘酚和甲醛以堿土金屬氫氧化物作為催化劑反應而得到的萘酚型杯芳烴化合物(例如參照專利文獻2。)。但是，專利文獻2中公開的萘酚型杯芳烴化合物在有機溶劑中的溶解性不充分，難以制備用于獲得永久膜的組合物。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-244663號公報

專利文獻2：日本特開2012-162474號公報

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的問題

因此，本發(fā)明要解決的問題在于，提供在溶劑中的溶解性優(yōu)異、而且能得到堿顯影性、耐熱分解性、感光度及分辨率優(yōu)異的涂膜、尤其適于得到抗蝕永久膜的固化性組合物及使用該組合物而得到的抗蝕永久膜。

用于解決問題的方案

本發(fā)明人等為了解決上述問題，反復進行了深入研究，結果發(fā)現(xiàn)，二羥基萘型的杯芳烴化合物的耐熱性顯著高、在通用溶劑中的溶解性優(yōu)異，使用其得到的涂膜的耐熱性、感光度、分辨率優(yōu)異，含有該化合物且含有感光劑或固化劑的組合物適合作為用于形成抗蝕永久膜的組合物等，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明提供一種抗蝕永久膜用固化性組合物，其特征在于，包含具有下述結構式(1)所示分子結構的含酚羥基化合物(A)且包含感光劑(B1)或固化劑(B2)，