[發(fā)明專(zhuān)利]內(nèi)窺鏡和攝像裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580073455.9
• 申請(qǐng)日: 2015-01-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107205625B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤森紀(jì)幸
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 奧林巴斯株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): A61B1/04
• 分類(lèi)號(hào): A61B1/04
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

內(nèi)窺鏡(2)在插入部的前端部(2a)配設(shè)有攝像裝置(1)，該攝像裝置(1)具有：攝像元件(10)，其具有半導(dǎo)體基板(11)和布線層(12)，該半導(dǎo)體基板(11)在第一主面(10SA)上形成有攝像部(13)，在第二主面(10SB)上具有接合端子(18)，該布線層(12)配設(shè)在所述半導(dǎo)體基板(11)的所述第一主面(10SA)上，是由導(dǎo)體層(12A)隔著絕緣層(12B、12C)層疊而成的；以及玻璃蓋(30)，其以覆蓋所述攝像元件(10)的所述第一主面?zhèn)鹊恼w的方式粘接，其中，該內(nèi)窺鏡(2)具有保護(hù)部(40)，該保護(hù)部(40)至少覆蓋所述攝像元件(10)的所述布線層(12)的側(cè)面，該保護(hù)部(40)是在樹(shù)脂(41)中分散有透濕性比所述樹(shù)脂(41)的透濕性低的遮斷粒子(42)而得到的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具備在布線層中具有低介電常數(shù)材料的攝像裝置的內(nèi)窺鏡和所述攝像裝置。

背景技術(shù)

具備在主面(受光面)上形成有受光部的攝像元件的芯片尺寸封裝型的攝像裝置因小徑而被用于內(nèi)窺鏡，其中，該受光部由CMOS受光元件等構(gòu)成。為了取得使用半導(dǎo)體技術(shù)而制作的由微細(xì)圖案構(gòu)成的受光部和與布線板等連接的較大的接合電極的整合性，在攝像元件中由導(dǎo)體層和絕緣層構(gòu)成的布線層是不可缺的。近年來(lái)，為了攝像裝置的高性能化，研究了使用低介電常數(shù)比氧化硅低的材料即所謂的Low-k材料作為布線層的絕緣層的方法。

但是，Low-k材料在耐濕性/耐水性即對(duì)水分(包含水蒸氣等)的滲透的耐性的方面比現(xiàn)有的絕緣層材料差。在將Low-k材料作為絕緣層的芯片尺寸封裝型的攝像裝置中，Low-k材料露出到外周部，因此有可能可靠性不充分。即，當(dāng)水進(jìn)入到由Low-k材料構(gòu)成的絕緣層時(shí)，相對(duì)介電常數(shù)上升，寄生電容增加，從而產(chǎn)生信號(hào)延遲，由此可能出現(xiàn)產(chǎn)生動(dòng)作不良或絕緣層剝離這樣的問(wèn)題。

在日本特開(kāi)2011-166080號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了將攝像元件收納于屏蔽殼體中的攝像裝置。在攝像元件與屏蔽殼體的間隙中填充有密封樹(shù)脂。

但是，在上述公報(bào)中，關(guān)于經(jīng)由密封樹(shù)脂而滲透的水分所產(chǎn)生的影響，沒(méi)有任何公開(kāi)或教示。關(guān)于這點(diǎn)，推測(cè)為是因?yàn)闆](méi)有使用Low-k材料作為攝像元件的絕緣層。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2011-166080號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明的實(shí)施方式的目的在于提供耐濕性?xún)?yōu)異并且可靠性高的內(nèi)窺鏡和耐濕性?xún)?yōu)異并且可靠性高的攝像裝置。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的實(shí)施方式的內(nèi)窺鏡在插入部的前端部配設(shè)有攝像裝置，該攝像裝置具有：攝像元件，其具有半導(dǎo)體基板和布線層，該半導(dǎo)體基板在第一主面上形成有受光部，在第二主面上具有與所述受光部電連接的接合端子，該布線層配設(shè)在所述半導(dǎo)體基板的所述第一主面上，是由導(dǎo)體層隔著絕緣層層疊而成的；以及玻璃蓋，其以覆蓋所述攝像元件的所述第一主面?zhèn)鹊恼w的方式粘接，其中，該內(nèi)窺鏡具有保護(hù)部，該保護(hù)部至少覆蓋所述攝像元件的所述布線層的側(cè)面，該保護(hù)部是在樹(shù)脂中分散有透濕性比所述樹(shù)脂的透濕性低的遮斷粒子而得到的。

另一實(shí)施方式的攝像裝置具有：攝像元件，其具有半導(dǎo)體基板和布線層，該半導(dǎo)體基板在第一主面上形成有受光部，在第二主面上具有與所述受光部電連接的接合端子，該布線層配設(shè)在所述半導(dǎo)體基板的所述第一主面上，是由導(dǎo)體層隔著絕緣層層疊而成的；以及玻璃蓋，其以覆蓋所述攝像元件的所述第一主面?zhèn)鹊恼w的方式粘接，其中，該攝像裝置具有保護(hù)部，該保護(hù)部至少覆蓋所述攝像元件的所述布線層的側(cè)面，該保護(hù)部是在樹(shù)脂中分散有透濕性比所述樹(shù)脂的透濕性低的遮斷粒子而得到的。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供耐濕性?xún)?yōu)異并且可靠性高的內(nèi)窺鏡和耐濕性?xún)?yōu)異并且可靠性高的攝像裝置。