[發明專利]具有含有開槽式螺旋波導的旋轉微波等離子體天線的工件處理腔室

有效

• 申請號: 201580072027.4
• 申請日: 2015-11-30
• 公開（公告）號: CN107112190B
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 邁克爾·W·斯托厄爾
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于處理工件的反應器，所述反應器包含：

腔室以及在所述腔室內的工件支撐件表面；

旋轉耦合件，所述旋轉耦合件包含固定式臺和旋轉式臺，所述旋轉式臺具有旋轉軸；

微波源，所述微波源耦接至所述固定式臺；

旋轉致動器；

微波天線，所述微波天線耦接至所述旋轉致動器與并覆蓋所述腔室，所述微波天線包含：

底板和天花板；

第一螺旋壁，所述第一螺旋壁在所述底板與所述天花板之間延伸，且所述第一螺旋壁具有螺旋軸，所述螺旋軸對應于所述旋轉軸，所述第一螺旋壁界定第一螺旋導管，所述第一螺旋導管具有第一導管端；

第一多個口，所述第一多個口被沿著所述第一螺旋導管的長度在所述底板中間隔放置；

軸向導管，所述軸向導管耦接至所述旋轉式臺；以及

分配器波導，所述分配器波導包含輸入和第一輸出，所述輸入耦接至所述軸向導管，且所述第一輸出耦接至所述第一導管端。

2.如權利要求1所述的反應器，其中所述微波天線進一步包含：

第二螺旋壁，所述第二螺旋壁在所述底板與所述天花板之間延伸并對齊所述螺旋軸，所述第二螺旋壁界定第二螺旋導管，所述第二螺旋導管具有第二導管端；

第二多個口，所述第二多個口被沿著所述第二螺旋導管的長度在所述底板中間隔放置；以及

其中所述分配器波導進一步包含第二輸出，所述第二輸出耦接至所述第二導管端。

3.如權利要求2所述的反應器，其中所述分配器波導包含：

波導腔室，所述波導腔室覆蓋所述微波天線并具有相應的開口，所述開口對齊所述第一導管端和所述第二導管端的相應一個；以及

第一反射性表面對，所述第一反射性表面對經設置角度以使所述波導腔室中的輻射偏斜進入所述相應的開口中。

4.如權利要求3所述的反應器，其中所述微波天線進一步包含：

第二反射性表面對，所述第二反射性表面對經設置角度以使來自所述相應的開口的輻射偏斜進入所述第一導管端和所述第二導管端的相應一個。

5.如權利要求3所述的反應器，其中所述第一反射性表面對以相對于所述螺旋軸45度定向。

6.如權利要求4所述的反應器，其中所述第二反射性表面對以相對于所述螺旋軸45度定向。

7.如權利要求3所述的反應器，其中所述第一導管端和所述第二導管端位于所述微波天線的周圍處，所述分配器波導跨越所述微波天線的直徑。

8.如權利要求7所述的反應器，其中所述相應的開口被沿著所述周圍彼此相距180度放置。

9.一種微波源，所述微波源包含：

底板和天花板；

第一螺旋壁，所述第一螺旋壁界定第一螺旋導管并在所述底板與所述天花板之間延伸，且所述第一螺旋導管具有螺旋軸和第一導管端；

第一多個口，所述第一多個口被沿著所述第一螺旋導管的長度在所述底板中間隔放置；

軸向導管；以及

分配器波導，所述分配器波導包含輸入和第一輸出，所述輸入耦接至所述軸向導管，且所述第一輸出耦接至所述第一導管端。

10.如權利要求9所述的微波源，所述微波源進一步包含：

旋轉耦合件，所述旋轉耦合件包含固定式臺和旋轉式臺，所述旋轉式臺具有旋轉軸，所述旋轉軸與所述螺旋軸重合；

微波源，所述微波源耦接至所述固定式臺，所述軸向導管耦接至所述旋轉式臺；以及

旋轉致動器，所述旋轉致動器耦接至所述旋轉式臺。