[發明專利]空氣清潔系統

有效

• 申請號: 201580071718.2
• 申請日: 2015-01-15
• 公開（公告）號: CN107106965B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 李東彩;尹圣鎮;曹圣鐘;金正淵;樸相俊;許臺敬
• 申請（專利權）人: 艾可普羅有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 石寶忠

提供一種空氣清潔系統，其包括：第一反應器，其具有第一入口和第一出口，并在其中形成有通道；第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器，它們設置在第一反應器內部并被設置成使得氣體在沿著通道從第一入口流向第一出口時依次從它們中通過；多個第一磁控管，其設置在第一反應器的側部，以分別對應于第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器并且選擇性地將微波施加至第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器；換熱器，其接收含有從第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器解吸并從第一出口排出的水分和水溶性氣體污染物的熱空氣，將水分冷凝成水，并且將水溶性氣體污染物溶解在冷凝水中并排出。根據本發明，空氣清潔系統能夠將除濕工序和水溶性氣體污染物去除工序聯合，以簡化空氣清潔工序；通過引入微波和換熱器而將廢熱回收和再循環，從而有助于節能；并被半永久地使用而不需要定期更換過濾器。

技術領域

本發明涉及一種空氣清潔系統，更具體地，涉及一種能夠以節能方式同時去除對人體有害的水溶性氣體和水分的空氣清潔系統。

背景技術

通常，諸如半導體或液晶顯示器(LCD)等元件在具有高潔凈度的潔凈室中制造。半導體和LCD的質量對制造過程中的濕度和污染物的影響敏感。因此，必須通過引入清潔室中的空氣介質來防止諸如灰塵等污染物的流入，并必須將引入的空氣的溫度和濕度調節到最佳條件(12℃和50％)。同時，在半導體或LCD制造過程中大部分(約90％)的能量是電力，空氣調節設備占電力的40％。空氣調節設備所消耗的大部分電力用于運行外部空氣調節單元(其用于處理引入潔凈室中的外部空氣)。因此，僅僅通過減少外部空氣調節單元中使用的電力可以預期得到非常高的節能效果。

同時，為了調節半導體或LCD制造過程中的濕度，目前使用除濕系統。這種除濕系統使用陶瓷紙吸附轉子周期性地重復吸附/脫附水分(H₂O)，以保持恒定的溫度和濕度。具體地，陶瓷紙吸附轉子通過用溫度為150℃以上的熱風將吸附的H₂O解吸而得以再生，因此能量效率低。因此，迫切需要開發用于提供高能效和優異的除濕性能的技術。

當在半導體或LCD制造過程中引入空氣中含有的對人體有害的水溶性氣體時，對生產效率有很大影響。目前，使用了采用活性炭類吸附劑以去除這種對人體有害的水溶性氣體的化學過濾器系統。然而，存在如下問題：當吸附劑超過有效容量時，應更換化學過濾系統。此外，如果將從化學過濾器系統解吸的水溶性氣體污染物捕集、濃縮并除去，則存在需要單獨的處理過程和設備的問題，并且需要用于儲存氣態污染物的巨大設備。

通過這種方式，目前將利用除濕系統和化學過濾系統的雙重系統應用于潔凈室，這并非節能。此外，存在應該定期更換化學過濾器系統的問題。

發明內容

技術問題

因此，本發明的目的是提供一種半永久性空氣清潔系統，其將除濕系統和化學過濾器系統聯合，采用低能耗手段，通過回收廢熱來減少能量，特別地，消除了對定期更換化學過濾器系統的需求。

然而，本公開要解決的問題不限于上述問題，本領域技術人員從下面的描述中能夠清楚地理解其它未提及的問題。

問題的技術方案

為了實現上述目的，根據本發明的一個方面，提供一種空氣清潔系統，其包括：第一反應器，其具有第一入口和第一出口，并且在其中形成有通道；第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器，它們設置在第一反應器內部并被設置成使得氣體在沿著通道從第一入口流向第一出口時依次從它們中通過；多個第一磁控管，其設置在第一反應器的側部，以分別對應于第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器，并且選擇性地將微波施加至第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器；和換熱器，其接收含有從第一水分吸附過濾器和第一水溶性氣體污染物吸附過濾器解吸并從第一出口排出的水分和水溶性氣體污染物的熱空氣，將水分冷凝成水，并將水溶性氣體污染物溶解在冷凝水中并排出。