[發明專利]用于測試頭的接觸探針的制造方法

在審

• 申請號: 201580071446.6
• 申請日: 2015-12-29
• 公開（公告）號: CN107250809A
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 拉斐爾·烏巴爾多·瓦勞利
• 申請（專利權）人: 泰克諾探頭公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R3/00
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙)11400
• 代理人: 葛強,侯曉艷

1.一種用于測試頭(18)的接觸探針(10)的制造方法，包括以下步驟：

-提供由導電材料制成的基板(11)；以及

-通過激光切割所述基板(11)限定至少一個接觸探針(10)；

其特征在于，所述方法還包括：在通過激光切割所述基板(11)限定至少一個接觸探針(10)之后，對所述接觸探針(10)的至少一個端部(10A,10B)進行至少一個后處理的精細限定步驟，其中，所述端部(10A,10B)為包括所述接觸探針(10)的接觸尖端(10A)或接觸頭(10B)的部分，

所述精細限定步驟不涉及激光處理，并且至少以微米精度幾何地限定所述接觸探針(10)的所述端部(10A，10B)。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其中，所述精細限定步驟是在多個接觸探針(10)上同時執行的，所述多個接觸探針(10)是通過在所述基板(11)上激光切割的限定步驟中形成的。

3.根據權利要求2所述的制造方法，還包括將多個接觸探針(10)組裝在加工框架(12)或測試頭(18)中的步驟，以允許將所述多個接觸探針作為組來移位和操作。

4.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，所述精細限定步驟包括對所述端部(10A,10B)進行微機械限定步驟。

5.根據權利要求4所述的制造方法，其中，所述微機械限定步驟包括將所述端部(10A,10B)在研磨布(16)上按壓接觸。

6.根據權利要求1-3中任一項所述的制造方法，其中，所述精細限定步驟包括化學或電化學處理。

7.根據權利要求6所述的制造方法，其中，所述化學或電化學處理包括將所述端部(10A,10B)浸入化學試劑(24)中達到一定的深度(Liv)，所述化學試劑(24)適于在通電的同時蝕刻所述端部(10A,10B)。

8.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，所述精細限定步驟包括對所述端部(10A,10B)重新塑形和/或清潔。

9.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，通過激光切割的所述限定步驟，實現每個接觸探針(10)通過至少一個橋式材料(27)錨定到所述基板(11)，所述方法還包括：通過折斷并移除所述橋式材料(27)，將每個接觸探針(10)與所述基板(11)分離的進一步步驟。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其中，對應于所述接觸探針(10)的端部(10A)實現所述至少一個橋式材料(27)，所述端部的所述精細限定步驟允許消除由于所述橋式材料(27)的折斷和移除引起的任何缺陷。

11.根據權利要求9或10所述的制造方法，其中，在將每個接觸探針(10)與所述基板(11)分離的所述進一步步驟之前，對錨定至所述基板(11)的多個接觸探針(10)同時執行所述精細限定步驟。

12.根據權利要求11所述的制造方法，還包括在所述基板(11)的不屬于所述接觸探針(10)以及不包括所述橋式材料(27)的部分中切割的步驟，以使得所述接觸探針(10)對應的至少一個端部(10A)從所述基板(11)伸出。

13.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，還包括：在所述精細限定步驟之前，對每個接觸探針(10)的所述端部(10A,10B)縮短的步驟。

14.根據前述權利要求中任一項所述的制造方法，其中，在測試頭(18)的使用壽命期間，對于組裝在所述測試頭(18)中的多個接觸探針(10)，所述精細限定步驟是可重復的，縮短各個端部(10A，10B)的步驟在所述精細限定步驟之前。

15.一種測試頭(18)的平坦化方法，所述測試頭設有至少一個上引導件(19)和至少一個下引導件(20)并包括多個接觸探針(10)，所述上引導件(19)和所述下引導件(20)分別具有上引導孔(19A)和下引導孔(20A)，每個接觸探針(10)滑動通過所述上引導孔(19A)和所述下引導孔(20A)，其中，每個接觸探針通過根據前述權利要求中任一項所述的制造方法實現，所述平坦化方法包括以下步驟：

-縮短每個所述接觸探針(10)的至少一個端部(10A,10B)，所述至少一個端部(10A,10B)在基本平行于所述測試頭(18)待測的器件的平面的平面內相對于所述下引導件(20)伸出；以及

-精細限定每個所述接觸探針(10)的至少一個端部(10A,10B)，

獲得具有多個接觸探針(10)的測試頭(18)，所述多個接觸探針(10)的端部(10A,10B)全部具有相同長度(H)，并且均被至少以微米精度幾何地限定。