[發明專利]軸承、平的基板的加工單元、以及安裝和移除旋轉工具的方法

有效

• 申請號: 201580069734.8
• 申請日: 2015-12-03
• 公開（公告）號: CN107110197B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: B·貝甘;P·克萊蒙特;M·加文
• 申請（專利權）人: 鮑勃斯脫梅克斯股份有限公司
• 主分類號: F16C13/02
• 分類號: F16C13/02;F16C25/08
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 趙晨宇

1. 一種用于保持旋轉加工工具（10, 11）的軸承，包括兩個端部滾動軸承裝置（26,28）、至少一個位于所述兩個端部滾動軸承裝置（26, 28）之間的中間滾動軸承裝置（27）、以及至少一個機械致動器（32, 33），所述端部滾動軸承裝置（26，28）和所述中間滾動軸承裝置（27）用于與所述旋轉加工工具（10, 11）的端部（10a, 10b, 11a, 11b）接合，所述機械致動器配置成對所述中間滾動軸承裝置（27）施加徑向預載力（Fo, Fo’），其中，所述徑向預載力（Fo, Fo’）與所述端部滾動軸承裝置（26，28）的徑向反作用力（Fr1, Fr3, Fr1’, Fr3’）相反，從而使滾動軸承裝置（26, 27, 28）在所述旋轉加工工具（10, 11）的相應端部（10a,10b, 11a, 11b）上收緊，使得在軸承（14, 15, 16, 17）與所述端部（10a, 10b, 11a, 11b）之間提供減小的間隙，并且使得所述旋轉加工工具（10、11）穩固地保持成彼此平行。

2. 根據權利要求1所述的軸承，其特征在于，所述機械致動器（32, 33）配置成在所述中間滾動軸承裝置（27）的外環（30b）上施加徑向預載力（Fo, Fo’）。

3. 根據權利要求1所述的軸承，其特征在于，所述機械致動器（32, 33）配置成使所述中間滾動軸承裝置（27）的外環（30b）徑向地移動。

4. 根據權利要求 2所述的軸承，其特征在于，所述機械致動器（32, 33）配置成使所述中間滾動軸承裝置（27）的外環（30b）徑向地移動。

5. 根據權利要求1至4中任一項所述的軸承，其特征在于，所述機械致動器（32, 33）包括控制元件，所述控制元件配置成啟動及停止施加所述徑向預載力（Fo, Fo'）。

6. 根據權利要求2至4中任一項所述的軸承，其特征在于，所述機械致動器（32, 33）包括氣缸。

7.根據權利要求6所述的軸承，其特征在于，所述氣缸包括腔室（34）和活塞（35），所述活塞的第一端（35a）能夠沿相對于所述中間滾動軸承裝置（27）的所述外環（30b）的徑向方向在所述腔室（34）中移動，所述活塞的第二端（35b）固定到所述中間滾動軸承裝置（27）。

8. 根據權利要求1所述的軸承，其特征在于，所述端部滾動軸承裝置（26，28）和所述中間滾動軸承裝置（27）各具有內表面和外環，由所述旋轉加工工具（10, 11）的端部（10a,10b, 11a, 11b）的外表面（29）形成端部滾動軸承裝置（26，28）和中間滾動軸承裝置（27）中一者的至少一個內表面。

9. 一種平的基板的加工單元，包括上下設置的上旋轉加工工具和下旋轉加工工具，其特征在于，所述加工單元包括至少一個根據權利要求1至8中任一項所述的軸承（14, 15,16, 17）。

10. 根據權利要求9所述的加工單元，包括：

-用于與所述上旋轉加工工具的端部（10a,10b）接合的軸承（14,16），所述軸承（14,16）的機械致動器（32）配置成使所述中間滾動軸承裝置（27）向上移動；以及

-用于與所述下旋轉加工工具的端部（11a,11b）接合的軸承（15,17），所述軸承（15,17）的機械致動器（33）配置成使所述中間滾動軸承裝置（27）向下移動。