[發(fā)明專利]用于對真空室的室壁中的室開口進(jìn)行封閉的門

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580069473.X
• 申請日: 2015-12-04
• 公開（公告）號: CN107110402B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 托馬斯·布勒夏
• 申請（專利權(quán)）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16K3/18
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

1.一種用于相對于真空室所位于的環(huán)境空間(45)來封閉真空室(3)的室壁(2)中的室開口(4)的門，其包含有

設(shè)置在該環(huán)境空間(45)中的門殼體(25)，

設(shè)置在該環(huán)境空間(45)中的封閉機構(gòu)(5)，其能夠通過從用于露出室開口(4)的打開位置至用于關(guān)閉室開口(4)的關(guān)閉位置的調(diào)節(jié)行程來調(diào)節(jié)，

以及具有縱軸線(11)的桿(10)，其中該封閉機構(gòu)(5)與該桿相連接，其中經(jīng)由通過該桿(10)的第一運動以及該桿(10)的緊接著的第二運動的調(diào)節(jié)行程來進(jìn)行該封閉機構(gòu)(5)的調(diào)節(jié)，并且用于把該封閉機構(gòu)(5)從打開位置調(diào)節(jié)到中間位置的、該桿(10)的第一運動是該桿(10)在其縱軸線(11)方向上的偏移，并且用于把該封閉機構(gòu)從該中間位置調(diào)節(jié)到關(guān)閉位置的、該桿(10)的緊接著的第二運動是該桿(10)在與其縱軸線(11)成角度的方向上的偏移和/或該桿(10)圍繞與其縱軸線(11)垂直的擺動軸線(46)的擺動，其特征在于，該桿(10)通過支承元件通過其第一運動以及通過其第二運動相對于該門殼體(25)能運動地支承，其中用于通過其第一運動以及通過其第二運動相對于該門殼體(25)能運動地支承該桿(10)的支承元件設(shè)置在該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)中，并且該桿(10)密封地從該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)中引出到該環(huán)境空間(45)中,

其中該內(nèi)空間(30)相對于該環(huán)境空間(45)是密封的并且

-所述內(nèi)空間(30)是完全封閉的，并在所述內(nèi)空間(30)中設(shè)置有具有內(nèi)部擴張空間(61)的擴張容器(60)，其中該擴張空間的體積是可變的，或者

-在所述門殼體(25)所位于的環(huán)境空間(45)中設(shè)置有具有內(nèi)部擴張空間(61)的擴張容器(60)，其中該擴張容器的體積是可變的并且該擴張空間通過穿過該門殼體(25)的殼體壁的通道而與該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)相連通，或者

-該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)通過穿過該門殼體(25)的殼體壁(40)的通道(41)來抽吸，或者

-該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)通過穿過該門殼體(25)的殼體壁(40)的通道(41)而與外空間(58)相連，該外空間(58)與該門殼體(25)所位于的環(huán)境空間(45)相分隔；

或者其中所述內(nèi)空間(30)與該環(huán)境空間(45)通過穿過該門殼體(25)的殼體壁(40)的通道(41)相連接，其中在該通道中設(shè)置有顆粒過濾器(59)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的門，其特征在于，至少一個氣動活塞-氣缸單元(12,21)完全設(shè)置在該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)中，其中氣動活塞-氣缸單元具有活塞(15,26)，該活塞帶有安裝于其上的活塞桿(16,27)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的門，其特征在于，不僅該桿(10)的第一運動、而且該桿(10)的第二運動都可以由氣動活塞-氣缸單元(12,21)來驅(qū)動，其具有活塞(15,26)和安裝于活塞(15,26)上的活塞桿(16,27)，其中用于使該桿(10)運動的所有活塞-氣缸單元(12,21)都完全設(shè)置在該門殼體(25)的內(nèi)空間(30)中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的門，其特征在于，在該封閉機構(gòu)(5)上設(shè)置有環(huán)周閉合的密封裝置(7)，該密封裝置在該封閉機構(gòu)(5)的關(guān)閉位置中按壓到圍繞該室開口(4)的密封面(8)上，或者在該封閉機構(gòu)(5)上設(shè)置有環(huán)周閉合的密封面，該密封面在該封閉機構(gòu)(5)的關(guān)閉位置中按壓到在該室壁(2)上所設(shè)置的、圍繞該室開口(4)的密封裝置上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的門，其特征在于，該桿(10)借助伸縮箱(31)密封地從該門殼體(25)的內(nèi)部空間(30)引出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的門，其特征在于，該門殼體(25)在其能通過固定螺栓(14)固定在室壁(2)上的區(qū)域中具有抬高部(15)以靠置在該室壁(2)上，并在相比離所述固定螺栓(14)更遠(yuǎn)的區(qū)域中，為了形成在該門殼體(25)與該室壁(2)之間的間隙(64)，相對于所述抬高部(15)而降低地被構(gòu)造。