[發(fā)明專利]用于電磁輻射感測的檢測器結(jié)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580069216.6
• 申請日: 2015-11-09
• 公開（公告）號: CN107112336A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·武帝萊南;M·勞瓦拉
• 申請（專利權(quán)）人: 諾基亞技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 酆迅,董典紅

1.一種裝置，包括傳感器結(jié)構(gòu)，所述傳感器結(jié)構(gòu)包括：

至少兩個電磁輻射傳感器單元，所述傳感器單元包括作為電磁輻射吸收材料的石墨烯；和

所述至少兩個傳感器單元之間的電連接，其中，所述電連接至少部分地由石墨烯制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述電連接完全由石墨烯制成。

3.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，包括由石墨烯制成的多個所述電連接和多個所述傳感器單元。

4.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元形成傳感器單元行。

5.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元形成傳感器單元陣列。

6.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元之間的所述電連接包括延伸到所述傳感器單元中的石墨烯層。

7.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元形成傳感器單元行，并且所述傳感器單元之間的所述電連接包括延伸穿過所述傳感器單元行的傳感器單元的石墨烯層。

8.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元形成傳感器單元行，并且所述傳感器單元之間的所述電連接包括在所述傳感器單元行的傳感器單元上方延伸的石墨烯層。

9.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器結(jié)構(gòu)包括延伸穿過所述結(jié)構(gòu)的多個傳感器單元的石墨烯層。

10.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，延伸穿過所述結(jié)構(gòu)的多個傳感器單元的石墨烯層形成在所述傳感器單元之間的所述電連接。

11.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元包括多個堆疊的電磁輻射感測單元，其中，每個感測單元包括由石墨烯制成的電磁輻射感測層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述傳感器單元包括20-40個所述堆疊的電磁輻射感測單元，并且其中，每個感測單元中的所述電磁輻射感測層包括10-30個石墨烯層。

13.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述傳感器單元是x射線傳感器單元。

14.根據(jù)任一前述權(quán)利要求所述的裝置，其中，所述裝置是x射線檢測器。

15.一種方法，包括：

在包括至少兩個傳感器單元的傳感器結(jié)構(gòu)的傳感器單元中檢測電磁輻射，所述傳感器單元包括作為電磁輻射吸收材料的石墨烯；和

通過至少部分地由石墨烯制成的電連接遞送去往和來自所述傳感器單元的電信號。