[發明專利]13族元素氮化物結晶的培養方法及裝置

有效

• 申請號: 201580067845.5
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN107002287B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 野口卓;東原周平;平尾崇行;內川哲哉
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: C30B29/38
• 分類號: C30B29/38;C30B19/04
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;鄭雪娜

1.一種13族元素氮化物結晶的制造方法，其特征在于，

通過將13族元素源、包含堿金屬和堿土金屬中的至少一方的助熔劑、及在常溫下為液體的添加劑收納于結晶培養容器，在含有氮原子的氣體氣氛下對所述結晶培養容器進行加熱、加壓，由此生成包含所述13族元素源、所述助熔劑及所述添加劑的熔液，此時通過包含所述助熔劑的遮蔽物來防止所述添加劑蒸發直至所述助熔劑熔融，使13族元素氮化物結晶在所述熔液中生長，

所述添加劑收納在容器中，

所述容器整體由所述遮蔽物形成并熔融到熔液中，或者，所述容器包括：具有收納所述添加劑的收納部的主體和由所述遮蔽物形成的蓋子，所述蓋子熔融到熔液中，所述主體保持在熔液中。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

所述容器包括：具有收納所述添加劑的收納部的主體和由所述遮蔽物形成的蓋子的情況下，所述主體包括筒狀部，所述蓋子包括由所述遮蔽物形成的一對蓋子。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

在所述助熔劑熔融之前，開始所述加壓。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

所述添加劑為烴。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的方法，其特征在于，

所述添加劑的沸點在所述助熔劑的熔點以下。

6.一種13族元素氮化物結晶的培養裝置，所述結晶培養裝置通過將13族元素源、包含堿金屬和堿土金屬中的至少一方的助熔劑、及在常溫下為液體的添加劑收納于結晶培養容器，在含有氮原子的氣體氣氛下對所述結晶培養容器進行加熱、加壓，由此生成包含所述13族元素源、所述助熔劑及所述添加劑的熔液，使13族元素氮化物結晶在所述熔液中生長，

所述結晶培養裝置的特征在于，

包括防止蒸發機構，該防止蒸發機構在對所述結晶培養容器進行加熱、加壓時，防止所述添加劑蒸發直至所述助熔劑熔融，

所述防止蒸發機構為由所述助熔劑形成的遮蔽物，

所述添加劑收納在容器中，

所述容器整體由所述遮蔽物形成并熔融到熔液中，或者，

所述容器包括：具有收納所述添加劑的收納部的主體和由所述遮蔽物形成的蓋子，所述蓋子熔融到熔液中，所述主體保持在熔液中。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，

所述容器包括：具有收納所述添加劑的收納部的主體和由所述遮蔽物形成的蓋子的情況下，所述主體包括筒狀部，所述蓋子包括由所述遮蔽物形成的一對蓋子。

8.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，

所述添加劑為烴。

9.根據權利要求6～8中的任意一項所述的裝置，其特征在于，

所述添加劑的沸點在所述助熔劑的熔點以下。