[發(fā)明專利]探針單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580067621.4
• 申請日: 2015-11-09
• 公開（公告）號: CN107003172B
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發(fā)明（設計）人: 羅伯特·施密特;安德烈亞斯·克魯姆布霍爾茨;阿爾明·韋內(nèi)特;卡伊·烏彭坎普
• 申請（專利權）人: 恩德萊斯和豪瑟爾歐洲兩合公司
• 主分類號: G01F23/26
• 分類號: G01F23/26;G01D5/24
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆森;戚傳江

1.一種探針單元(1)，所述探針單元(1)至少具有：

-一個探針殼體(9)，

-一個至少分段式棒狀探針電極(5)，

-一個附加電極(6)，

所述附加電極(6)至少部分地同軸包圍所述探針電極(5)并通過電絕緣(10)與所述探針電極(5)隔離開，

-一個第一緊固裝置(11)，

所述附加電極(6)通過所述第一緊固裝置(11)固定在所述探針殼體(9)中，

-一個接觸模塊(8)，

所述接觸模塊(8)能被施加到布置在所述探針殼體(9)中的所述探針電極(5)的棒狀段，以及

-具有第二緊固裝置(11a)，所述第二緊固裝置(11a)用于將所述接觸模塊(8)附接到所述探針電極(5)，

其中所述接觸模塊(8)包括至少下列組件：

--一個絕緣套筒(13)

---所述絕緣套筒具有用于接納所述棒狀探針電極(5)的一部分的大致圓筒形基體(14)以及二維支承元件(15)，所述二維支承元件(15)基本上垂直于所述基體(14)并將所述基體(14)分成第一段和第二段，

--一個柔性印刷電路板(16)，

---所述柔性印刷電路板(16)至少具有用于電接觸所述探針電極(5)的一個第一導電跡線(17)以及用于電接觸所述附加電極(6)的第二導電跡線(18)，

---所述柔性印刷電路板(16)在端部區(qū)域中具有所述第一導電跡線(17)通向的第一接觸區(qū)域(16a)以及所述第二導電跡線(18)通向的第二接觸區(qū)(16b)，

---其中所述第一接觸區(qū)域(16a)和所述第二接觸區(qū)(16b)各自具有直徑至少等于所述絕緣套筒(13)的所述基體(14)的外徑的中心凹部，

---并且其中至少所述第一接觸區(qū)域(16a)和所述第二接觸區(qū)域(16b)的所述中心凹部通過折疊所述印刷電路板(16)使得所述第一接觸區(qū)域(16a)能施加到所述基體(14)的第一部分，并且所述第二接觸區(qū)域(16b)能施加到所述基體(14)的第二部分來形成，以及

--模塊殼體(20)，其中所述模塊殼體(20)是導電的，

其特征在于，

提供了第一接觸盤(19)，其中所述第一接觸盤(19)能施加到所述絕緣套筒(13)的所述基體(14)的所述第一段并電接觸在所述第一接觸區(qū)域(16a)中的所述第一導電跡線(17)；

所述模塊殼體(20)具有第二接觸盤(24)，所述第二接觸盤能施加到所述絕緣套筒(13)的所述基體(14)的所述第二段并電接觸在所述第二接觸區(qū)域(16b)中的所述第二導電跡線(18)；

其中所述模塊殼體(20)具有帶圓筒形壁(25)的鍋形幾何形狀，所述圓筒形壁(25)平行于所述基體(14)從所述第二接觸盤(24)延伸，所述壁(25)至少使得在施加有所述接觸模塊(8)的區(qū)域中的所述探針電極(5)、至少在所述支承元件(15)的區(qū)域中的所述絕緣套筒(13)、以及至少在兩個接觸區(qū)域(16a、16b)的區(qū)域中的所述柔性電路板(16)基本上得到包圍、保護和/或針對電磁輻射的屏蔽，并且

其中所述第一接觸盤(19)具有小于所述第二接觸盤(24)的外徑。

2.根據(jù)權利要求1所述的探針單元，其特征在于，

所述柔性印刷電路板(16)是半柔性印刷電路板。

3.根據(jù)權利要求2所述的探針單元，其特征在于，

所述柔性印刷電路板(16)是由具有第一層(27)和第二層(28)的至少兩個層(27、28)組成的電路板(16)，所述第一導電跡線(17)在所述第一層(27)中至少分段伸展，所述第二導電跡線(18)在所述第二層(28)中至少分段伸展。