[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體清潔的阿基米德刷有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580066701.8 | 申請(qǐng)日： | 2015-10-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107257639B | 公開（公告）日： | 2021-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 布拉德利·斯科特·威瑟斯;埃里克·斯科特·納爾遜;羅伯特·艾倫·威利斯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 伊利諾斯工具制品有限公司 |
| 主分類號(hào)： | A46B13/00 | 分類號(hào)： | A46B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海脫穎律師事務(wù)所 31259 | 代理人： | 脫穎 |
| 地址： | 美國(guó)伊*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 半導(dǎo)體 清潔 阿基米德 | ||
提供一種用于清潔襯底的清潔裝置。在一個(gè)方面中，所述清潔裝置包括與心軸接合的刷子，且所述刷子形成阿基米德螺紋形狀。所述刷子由吸附性材料形成，優(yōu)選地為泡沫體。在一個(gè)方面中，所述刷子坐落于所述心軸中的凹槽內(nèi)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明大體涉及用于清潔物品的工藝和裝置。更具體地說，其涉及一種用于清潔半導(dǎo)體襯底的刷子。
背景技術(shù)
鑄造的圓柱形聚醋酸乙烯酯（PVA）刷子常規(guī)地在自動(dòng)清潔系統(tǒng)中用以提供后CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化）工藝，以有效地清潔例如半導(dǎo)體晶片或其他盤形襯底的襯底的表面。PVA刷子也在清潔系統(tǒng)中用以清潔和干燥平板顯示器制造、玻璃生產(chǎn)和印刷電路板組合件中的玻璃和其他非盤形襯底。刷子可具有（例如）短為50毫米或長(zhǎng)為10米的長(zhǎng)度。刷子完全跨正被處理的襯底延伸，由此在跨其直徑的全部距離上接觸襯底。在清潔過程中，刷子位于圍繞中央縱向軸線的中央心軸上且由所述中央心軸驅(qū)動(dòng)。刷子在其外表面上具有節(jié)結(jié)以幫助清潔襯底，如在圖1中所展示。
常規(guī)節(jié)結(jié)PVA刷子依賴于無差別的激發(fā)來從半導(dǎo)體表面/襯底去除粒子。粒子可通過從半導(dǎo)體表面/襯底抬起、在半導(dǎo)體表面/襯底上滑動(dòng)或在半導(dǎo)體表面/襯底上滾動(dòng)來去除，如例如在圖2中所展示。在圖2中，節(jié)結(jié)由小橢圓展示，其中的一些用參考數(shù)字10來標(biāo)注，且粒子由參考數(shù)字12展示。與常規(guī)節(jié)結(jié)PVA刷子相關(guān)聯(lián)的液力和/或動(dòng)電力并不按任何方向性將粒子移離待清潔的半導(dǎo)體表面/襯底。因?yàn)樾D(zhuǎn)著的半導(dǎo)體表面/襯底的中心主要依賴于由刷子施加的力來去除粒子，所以粒子再沉積是常見的，且清潔半導(dǎo)體表面/襯底的中心具有挑戰(zhàn)性。隨著轉(zhuǎn)變到較大的半導(dǎo)體表面/襯底（例如，300 mm到450 mm），這個(gè)問題加劇了。
發(fā)明內(nèi)容
在一個(gè)方面中，提供一種用于清潔襯底的清潔裝置。所述清潔裝置包括（但不限于）與心軸嚙合的刷子，且所述刷子形成阿基米德螺紋形。所述刷子由吸收性材料（優(yōu)選地，泡沫體）形成。在一個(gè)方面中，所述刷子坐落于所述心軸中的凹槽內(nèi)。
附圖說明
可參看以下圖式和描述更好地理解本發(fā)明。圖中的組件未必按比例，取而代之，對(duì)說明本發(fā)明的原理進(jìn)行強(qiáng)調(diào)。
圖1描繪根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的刷子和心軸的側(cè)視圖；
圖2描繪展示圖1的刷子接觸旋轉(zhuǎn)著的襯底的方式和在襯底上移動(dòng)粒子的方式的示意圖；
圖3描繪根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的用于清潔和/或拋光襯底的清潔系統(tǒng)的立體圖；
圖4描繪圖3的清潔系統(tǒng)的刷子和其心軸的立體圖；
圖5描繪圖4的刷子和其心軸的側(cè)視圖；
圖6描繪可與圖3-圖5的刷子一起使用的心軸的實(shí)例的部分立體圖；
圖7描繪圖6中展示的心軸的立體圖；
圖8描繪根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的用于清潔和/或拋光襯底的清潔系統(tǒng)的立體圖；
圖9描繪圖8的清潔系統(tǒng)的刷子和其心軸的立體圖；
圖10描繪圖9的刷子和其心軸的側(cè)視圖；
圖11描繪沿著圖10的線11-11的橫截面圖；
圖12描繪圖9的刷子和其心軸的端視圖；
圖13描繪修改的刷子和其心軸的側(cè)視圖；
圖14描繪沿著圖13的線14-14的橫截面圖；
圖15描繪另一修改的刷子和其心軸的側(cè)視圖；
圖16描繪沿著圖15的線16-16的橫截面圖；以及
圖17是展示圖8到圖16的刷子接觸旋轉(zhuǎn)著的襯底的方式和在襯底上移動(dòng)粒子的方式的示意圖。
具體實(shí)施方式
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