[發明專利]使用水蒸氣連同氫氣或含氫氣體的等離子體減量

在審

• 申請號: 201580066603.4
• 申請日: 2015-11-17
• 公開（公告）號: CN107004563A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 科林·約翰·迪金森
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

1.一種處理流出物的方法，包括以下步驟：

使流出物從處理腔室流動到等離子體源內，其中所述流出物包括PFC氣體；

輸送減量試劑的組合到所述等離子體源，所述減量試劑包括氫對氧的比例為至少2.5:1；和

在等離子體的存在下活化所述流出物和所述減量試劑，以將所述PFC氣體轉變成經減量的材料。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述PFC氣體是含碳氣體、含氮氣體或含硫氣體。

3.如權利要求1所述的方法，其中氫對氧的比例是從約3:1至約10:1。

4.如權利要求1所述的方法，其中所述減量試劑包括H₂，并且H₂是從H₂O電解系統被輸送的。

5.如權利要求1所述的方法，其中所述PFC氣體是選自包括以下氣體或由以下氣體構成的組的氣體：CF₄、C₂F₆、C₃F₈、C₄F₁₀、CHF₃、SF₆、NF₃、CH₃F和CH₂F₂。

6.如權利要求1所述的方法，其中所述減量試劑與所述流出物在形成等離子體之前結合。

7.一種用以減量流出物氣體的方法，所述方法包括以下步驟：

使減量試劑流動到等離子體腔室內；

使流出物氣體流動到所述等離子體腔室內，所述流出物氣體包括PFC氣體，以使待被減量的所述氣體與所述等離子體反應，其中氫對鹵素的比例為約1:1，且氧對碳或硫的比例為約2:1；和

在所述等離子體腔室中從所述減量試劑產生等離子體。

8.如權利要求7所述的方法，其中所述等離子體是感應式耦合等離子體。

9.如權利要求7所述的方法，其中氫對氧的比例是從約3:1至約10:1。

10.如權利要求7所述的方法，其中所述減量試劑包括H₂，并且H₂是從H₂O電解系統被輸送的。

11.如權利要求7所述的方法，其中所述減量試劑與所述流出物在形成等離子體之前結合。

12.如權利要求7所述的方法，其中所述PFC氣體是選自包括以下氣體或由以下氣體構成的組的氣體：CF₄、C₂F₆、C₃F₈、C₄F₁₀、CHF₃、SF₆、NF₃、CH₃F和CH₂F₂。

13.一種處理流出物的方法，包括以下步驟：

使包括PFC氣體的流出物從處理腔室流動到等離子體源內；

輸送減量試劑到所述等離子體源，所述減量試劑包括H₂和H₂O，H₂和H₂O是以氫對氧的比例為至少3:1被輸送的，其中H₂是通過H₂O電解來形成的；和

從所述流出物和所述減量試劑形成感應式耦合等離子體，以產生經減量的材料。

14.如權利要求13所述的方法，其中氫對氧的比例是從約3:1至約10:1。

15.如權利要求13所述的方法，其中所述PFC氣體是選自包括以下氣體或由以下氣體構成的組的氣體：CF₄、C₂F₆、C₃F₈、C₄F₁₀、CHF₃、SF₆、NF₃、CH₃F和CH₂F₂。