[發(fā)明專利]測(cè)定、使用和指示離子束工作性能的方法和裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580066523.9
• 申請(qǐng)日: 2015-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN107223282A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 約翰·安德魯·亨特;史蒂文·托馬斯·科伊爾;邁克爾·帕特里克·哈塞爾希勒;塞及·C·霍斯曼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 約翰·安德魯·亨特;史蒂文·托馬斯·科伊爾;邁克爾·帕特里克·哈塞爾希勒;塞及·C·霍斯曼
• 主分類號(hào): H01J37/08
• 分類號(hào): H01J37/08;H01J37/24;H01J37/304;H01J37/305;H01J37/317;G01N1/44
• 代理公司: 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所(普通合伙)51124
• 代理人: 劉揚(yáng),許澤偉

1.一種制備樣本的離子束裝置，包括：

a、一種離子束輻照工具，設(shè)置在指引寬離子束沿離子束中心軸的真空室中；

b、所述寬離子束包括：指向所述樣本的工作部分以及監(jiān)測(cè)部分；

c、所述離子束輻照工具為調(diào)制離子束輻照工具，用于提供選自下列清單中的至少兩種水平的一種或多種離子束特性，包括：

i.離子的瞬時(shí)電流；

ii.離子的瞬時(shí)流量；

iii.中子的瞬時(shí)流量；

iv.離子的時(shí)間平均電流；

v.離子的時(shí)間平均流量；

vi.中子的時(shí)間平均流量；

vii.離子的綜合電流；

viii.離子的綜合流量；

ix.中子的綜合流量；

x.離子的瞬時(shí)能量；

xi.離子的時(shí)間平均能量；

xii.離子的綜合能量；

xiii.離子的瞬時(shí)能量分布；

xiv.離子的時(shí)間平均能量分布；

xv.離子的綜合能量分布；

d、所述工作部分的特征在于，其具有選自所述離子束特性的所述清單中的一種或多種工作部分特性；

e、所述監(jiān)測(cè)部分特性在于，其具有選自所述離子束特性的所述清單中的一種或多種監(jiān)測(cè)部分特性；

f、一種樣本停留臺(tái)，配置用于將所述樣本保持在根據(jù)離子束中心軸預(yù)先確定的位置及方位；

g、一種束探針，設(shè)置用于接收寬離子束的所述監(jiān)測(cè)部分；

h、所述束探針用于充分接收所述監(jiān)測(cè)部分而不改變所述寬離子束的工作部分；

i、所述束探針用于生成與一種或多種監(jiān)測(cè)部分特性響應(yīng)的探針信號(hào)；

j、所述離子束輻照工具通過調(diào)制選自所述離子束特性的所述清單中的一種或多種離子束特性，與接收所述探針信號(hào)響應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征進(jìn)一步在于，該探針信號(hào)的進(jìn)一步特征是與一種或多種工作部分特性存在一種已知關(guān)系，所述已知關(guān)系包含在校準(zhǔn)數(shù)據(jù)集中，該校準(zhǔn)數(shù)據(jù)集被所述調(diào)制離子束輻照工具用于與所述探針信號(hào)響應(yīng)，調(diào)制所述離子束。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征進(jìn)一步在于，該離子束輻照工具為傾斜離子束輻照工具，用于在所述離子束中心軸與所述樣本之間提供至少兩個(gè)不同的入射角度；并且其中校準(zhǔn)數(shù)據(jù)集將所述一種或多種監(jiān)測(cè)部分特性和所述入射角與所述一種或多種工作部分特性相關(guān)聯(lián)。

4.一種制備樣本的離子束裝置，包括：

a、一種調(diào)制離子束輻照工具，設(shè)置在指引寬離子束沿離子束中心軸的真空室中；

b、該寬離子束包括：指向所述樣本的工作部分和監(jiān)測(cè)部分；

c、所述離子束輻照工具用于提供選自下列清單中的至少兩種水平的一種或多種離子束特性，包括：

i.離子的瞬時(shí)電流；

ii.離子的瞬時(shí)流量；

iii.中子的瞬時(shí)流量；

iv.離子的時(shí)間平均電流；

v.離子的時(shí)間平均流量；

vi.中子的時(shí)間平均流量；

vii.離子的綜合電流；

viii.離子的綜合流量；

ix.中子的綜合流量；

x.離子的瞬時(shí)能量；

xi.離子的時(shí)間平均能量；

xii.離子的綜合能量；

xiii.離子的瞬時(shí)能量分布；

xiv.離子的時(shí)間平均能量分布；

xv.離子的綜合能量分布；

d、所述工作部分的特征在于，其具有選自所述離子束特性的所述清單中的一種或多種工作部分特性；

e、所述監(jiān)測(cè)部分特性在于，其具有選自所述離子束特性的所述清單中的一種或多種監(jiān)測(cè)部分特性；

f、一種樣本停留臺(tái)，配置用于將所述樣本保持在根據(jù)離子束中心軸預(yù)先確定的位置及方位；

g、一種束探針，設(shè)置用于接收寬離子束的所述監(jiān)測(cè)部分；

h、所述束探針用于充分接收所述監(jiān)測(cè)部分而不改變所述寬離子束的工作部分；

i、所述束探針用于生成與一種或多種監(jiān)測(cè)部分特性響應(yīng)的探針信號(hào)；所述探針信號(hào)與所述一種或多種工作部分特性存在一種已知關(guān)系；其中，所述已知關(guān)系為將一個(gè)或多個(gè)監(jiān)測(cè)部分特性與所述一個(gè)或多個(gè)工作部分特性相關(guān)聯(lián)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)集；

j、與所述探針信號(hào)和所述校準(zhǔn)數(shù)據(jù)集響應(yīng)的指示器，指示離子束的所述一種或多種工作部分特性。