[發(fā)明專利]用于處理基板的設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580066253.1
• 申請日: 2015-12-03
• 公開（公告）號: CN107210254A
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 斯蒂芬－海因里希·漢森;馬庫斯·尤赫倫;貝恩德-烏韋·桑德;斯蒂芬·亞歷克西斯·佩狄亞狄塔基斯
• 申請（專利權(quán)）人: 雷納技術(shù)有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京金恒聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所11324
• 代理人: 李強

1.一種用液體(4)處理基板(14)的設(shè)備(24,24a-d)，其特征在于：

-輸送裝置(26)，借助該輸送裝置基板(14)可沿輸送方向(18)被輸送通過容納液體(4)的容器(28)；

-擋板(30，40，52，58，64，70)，它具有邊緣(32，44，54，60，74)，該邊緣(32，44，54，60，74)能夠被所述基板(14)經(jīng)過，該邊緣(32，44，54，60，74)的至少一段相對于所述基板(14)的輸送方向(18)傾斜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備(24a)，其特征在于：

邊緣(44)在至少兩條輸送道(36)上延伸并且在該至少兩條輸送道(36)之間具有不一致的邊緣輪廓(42)。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備(24b)，其特征在于：

邊緣(54)在至少兩條輸送道(36)上延伸并且在該至少兩條輸送道(36)之間具有一致的邊緣輪廓(56)。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的設(shè)備(24c)，其特征在于：邊緣(60)具有在每個點處均可求導的邊緣輪廓(62)。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的設(shè)備(24a)，其特征在于：邊緣(44)在至少一條輸送道(36)內(nèi)具有不一致的邊緣輪廓(42)。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的裝置(24c)，其特征在于：

邊緣(60)的至少一段包括圓滑的、優(yōu)選是正弦曲線的邊緣輪廓(62)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的設(shè)備(24a-c)，其特征在于：

其中邊緣(44,54,60)在超過兩條輸送道的范圍上延伸，且優(yōu)選地在至少三條輸送道的范圍上延伸，并且特別優(yōu)選地在所有輸送道的范圍上延伸。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的設(shè)備(24,24a-d)，其特征在于：

在所述擋板(30,40,52,58,64,70)的前面和后面設(shè)置有輸送輥(34)，借助輸送輥(34)所述基底(14)被輸送通過容納所述液體(4)的容器(28)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備(24,24a-d)，其特征在于：邊緣(32,44,54,60,74)在一個間隔距離的至少50％且優(yōu)選地至少75％且特別優(yōu)選地至少95％的范圍上延伸，該間隔距離是從沿著輸送方向(18)在擋板(30,40,52,58,64,70)前方的最后一個輸送輥(34)沿輸送方向到布置在擋板(30,40,52,58,64,70)后方的第一輸送輥的距離。

10.根據(jù)權(quán)利要求8至9中任一項所述的設(shè)備(24d)，其特征在于至少一個輸送輥(34)的旋轉(zhuǎn)軸(66)穿過擋板(64)。

11.一種用于用液體(4)處理基板(14)的設(shè)備(24,24a-d)中的擋板(30,40,52,58,64,70)，其特征在于擋板的邊緣(32,44,54,60,74)的至少一部分是傾斜延伸的。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的擋板(40,52,58,70)，其特征在于邊緣(44,54,60,74)具有至少一個突出部(46)或至少一個凹部，優(yōu)選地是一個突出部(46)。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的擋板(40,70)，其特征在于邊緣(44,47)的至少一部分具有鋸齒形輪廓(50)。

14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項所述的擋板(70)，其特征在于邊緣(74)具有不平坦的、優(yōu)選波紋狀的高度輪廓(76)。

15.根據(jù)權(quán)利要求11至14中任一項所述的擋板

(30,40,52,58,64,70)，其特征在于擋板(30,40,52,58,64,70)被整體地制成，優(yōu)選地通過從一個坯體(72)的材料去除而被制成。

16.根據(jù)權(quán)利要求11至15中任一項所述的擋板(64)，其特征在于用于接收旋轉(zhuǎn)軸(66)的至少一個開口(68)。

17.根據(jù)權(quán)利要求11至16中任一項所述的擋板(30,40,52,58,64,70)在根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項所述的設(shè)備(24,24a-d)中的用途。