[發明專利]壓電裝置、液體噴射頭、壓電裝置的制造方法以及液體噴射頭的制造方法

有效

• 申請號: 201580065850.2
• 申請日: 2015-11-17
• 公開（公告）號: CN107000432B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 吉池政史
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;夏東棟

一種壓電裝置，包括：第一基板，其包括設置在允許彎曲變形的第一區域中的壓電元件(32)以及電連接到壓電元件(32)的電極層(39)；第二基板，其中形成有與電極層(39)抵接并導通并且具有彈性的凸起電極(43)，并且第二基板被布置為以預定的間隔面向壓電元件(32)；以及粘合劑(43)，其在保持所述第一基板與所述第二基板之間的距離的狀態下接合所述第一基板與所述第二基板。粘合劑(43)在相對于所述第一基板或所述第二基板的表面的高度方向上的中央部具有比在相同方向上的端部的寬度大的寬度。

技術領域

本發明涉及一種包括通過施加電壓而變形的壓電元件的壓電裝置、液體噴射頭、壓電裝置的制造方法以及液體噴射頭的制造方法。

背景技術

壓電裝置是一種包括壓電元件的裝置，并被應用于各種設備、傳感器等。例如，在液體噴射設備中，通過使用壓電裝置，從液體噴射頭噴射各種液體。作為液體噴射設備，例如，存在諸如噴墨式打印機或噴墨式繪圖機的圖像記錄設備，并且近些年來，通過利用可以將非常少量的液體精確地落在預定位置的事實，液體噴射設備還被應用于各種制造設備。例如，液體噴射設備被應用至用于制造諸如液晶顯示器的濾色器的顯示器制造設備，用于形成有機電致發光(EL)顯示器、場致發射顯示器等的電極的電極形成設備，以及用于制造生物芯片(生物化學元件)的芯片制造設備。然后，用于圖像記錄設備的記錄頭噴射液體油墨，并且用于顯示器制造設備的顏色材料噴射頭噴射紅(R)、綠(G)和藍(B)的每種顏色材料的溶液。此外，在用于電極形成設備的電極材料噴射頭中，噴射液體電極材料，并且在用于芯片制造設備的生物有機材料噴射頭中，噴射生物有機材料的溶液。

上述液體噴射頭通過對噴嘴板、壓力室形成基板、壓電元件(一種致動器)、密封板等進行層壓來構造，在噴嘴板上形成有多個噴嘴，在壓力室形成基板中形成有與每個噴嘴相對應的壓力室，壓電元件引起各個壓力室內的液體中的壓力變動，在密封板中，形成有容納壓電元件的凹部。然后，液體噴射頭被配置為通過向壓電元件提供驅動信號而引起壓力室內的液體中的壓力變動(壓力變化)并通過使用該壓力變動從噴嘴噴出液體。這里，已經開發出了用于在面向密封板的凹部內的壓電元件的表面上形成用于向各個壓電元件傳輸驅動信號的驅動電路(也稱為驅動器電路)的技術(例如，參見PTL1)。用于電連接驅動電路和壓電元件的凸起電極形成在形成有驅動電路的表面上。此外，作為密封板，由于可以通過半導體工藝(即，成膜步驟、光刻步驟、蝕刻步驟等)來構建驅動電路，因此使用硅制的基板(以下稱為硅基板)。

引用列表

專利文獻

PTL1：JP-A-2009-252882

發明內容

技術問題

由于凹部通過蝕刻技術在密封板中構建，因此其內表面可能會粗糙。如果驅動電路形成在這樣的表面上，則存在不能獲得期望的性能的擔心。因而，在驅動電路形成在未形成有凹部的平面硅基板的表面上并且形成有能夠容納壓電元件的空間的狀態下，考慮通過粘合劑接合硅基板和壓電元件被層壓在其上的表面。然而，在這種構造中，由于粘合劑變厚，固化前的粘合劑很可能從預定區域突出，所以存在對粘合劑突出的部分中會出現麻煩的擔心。例如，由于使粘合劑在振動板的振動區域(變動區域)上突出而抑制了振動板的振動，因此存在對發生噴射故障的擔心。因而，有必要將粘合區域擴展到包括諸如粘合劑的突出區域的邊緣，以便不會在構造壓電裝置的諸如振動板的位移部的另一部分與粘合劑之間進行干擾。因而，難以減小壓電裝置和液體噴射頭的尺寸。

本發明是鑒于這種情況而做出的，并且本發明的目的在于提供一種在確保足夠的粘合強度的同時能夠減小尺寸的壓電裝置、液體噴射頭、壓電裝置的制造方法以及液體噴射頭的制造方法。

問題的解決方案