[發(fā)明專利]13族元素氮化物結(jié)晶層及功能元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580065227.7
• 申請日: 2015-11-19
• 公開（公告）號: CN107002286B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巖井真;吉野隆史
• 申請（專利權(quán)）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: C30B29/38
• 分類號: C30B29/38;C23C16/34;C30B19/10;C30B25/16
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;鄭雪娜

1.一種結(jié)晶層，其是包含13族元素氮化物并具有一對主面的結(jié)晶層，其特征在于，

在所述結(jié)晶層的與所述主面垂直的截面處，存在載流子濃度為1×10¹⁸/cm³以上的高載流子濃度區(qū)域和載流子濃度為9×10¹⁷/cm³以下的低載流子濃度區(qū)域，所述低載流子濃度區(qū)域?yàn)榧?xì)長的形狀，所述低載流子濃度區(qū)域具有締合部，且所述低載流子濃度區(qū)域在所述一對主面之間連續(xù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶層，其特征在于，

在所述結(jié)晶層的與所述主面垂直的所述截面處存在結(jié)晶缺陷，所述結(jié)晶缺陷橫穿所述低載流子濃度區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶層，其特征在于，

在所述結(jié)晶層的與所述主面垂直的所述截面處，所述低載流子濃度區(qū)域形成網(wǎng)狀的連續(xù)相，所述高載流子濃度區(qū)域被所述低載流子濃度區(qū)域區(qū)劃開。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的結(jié)晶層，其特征在于，

所述低載流子濃度區(qū)域包含相對于所述13族元素氮化物的c軸傾斜30～60°的部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的結(jié)晶層，其特征在于，

所述結(jié)晶層通過助熔劑法形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的結(jié)晶層，其特征在于，

所述結(jié)晶層通過氣相法形成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的結(jié)晶層，其特征在于，

至少一方所述主面為研磨面。

8.一種復(fù)合基板，其特征在于，

所述復(fù)合基板包括：包含13族元素氮化物的晶種、及設(shè)置在該晶種上的權(quán)利要求1～7中的任意一項(xiàng)所述的13族元素氮化物結(jié)晶層。

9.一種功能元件，其特征在于，

所述功能元件包括：權(quán)利要求1～7中的任意一項(xiàng)所述的13族元素氮化物結(jié)晶層、及形成在所述結(jié)晶層的所述主面上的功能層，該功能層包含13族元素氮化物。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的功能元件，其特征在于，

所述功能層具有發(fā)光功能。

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的功能元件，其特征在于，

所述功能元件還包括包含13族元素氮化物的晶種，在該晶種上設(shè)置有所述13族元素氮化物結(jié)晶層。