[發明專利]用于激光加工機械的加工頭部和激光加工機械

有效

• 申請號: 201580065139.7
• 申請日: 2015-10-20
• 公開（公告）號: CN107000122B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 托馬斯·拉特
• 申請（專利權）人: 百超激光股份公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/38;B23K26/14;B23K26/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李江暉

1.一種用于激光加工機械的加工頭部(1)，所述加工頭部具有聚焦光學器件(11)和至激光源(3)的接口，其特征在于：

至少用于工作激光束(6)的單次偏轉的偏轉組件(9、10)布置在接口和聚焦光學器件(11)之間，并且設計成無源光學元件的形式，無源光學元件根據功率而改變工作激光束(6)的發散，所述偏轉組件由無應力安裝件和基本平坦的偏轉鏡組成，偏轉鏡通過基板形成，基板以基本無應力的方式通過無應力安裝件被安裝以便在工作激光束的作用下均勻地變形。

2.根據權利要求1所述的加工頭部，其特征在于：

偏轉組件(9、10)包括具有基本恒定曲率的偏轉鏡(9)。

3.根據權利要求2所述的加工頭部，其特征在于：

基板具有施加在其面向工作激光束(6)的前側上的多個電介質層，其中電介質層系統被優化以用于在工作激光束(6)的入射角附近在2°和20°之間的角度范圍中的最大反射，其中工作激光束(6)的任何區域的入射角位于1°和89°之間。

4.根據權利要求3所述的加工頭部，其特征在于：

偏轉組件(9、10)的基板以楔形方式實現。

5.根據權利要求3或4所述的加工頭部，其特征在于：

應力補償平衡涂層施加在基板的后側上，其中所述平衡涂層是如下一組的至少一個涂層，所述一組包括，具有與基板的前側上的涂層相同的性質的涂層、與前側上的那些涂層相同的涂層、具有抗反射性質的涂層或純玻璃涂層。

6.根據權利要求3或4所述的加工頭部，其特征在于：

用于硫化鋅透鏡或藍寶石透鏡的基板由硅玻璃構成并且用于硅玻璃透鏡的基板由藍寶石構成。

7.根據權利要求3或4所述的加工頭部，其特征在于：

用于監控被透射通過基板或被在基板中反射的光束的裝置被提供。

8.根據權利要求1至4中的任一項所述的加工頭部，其特征在于：

保護窗口和/或必要時可調節光闌(8)布置在偏轉組件(9、10)上游的光束路徑(7)中。

9.根據權利要求1至4中的任一項所述的加工頭部，其特征在于：

偏轉組件(9、10)透射過程光。

10.根據權利要求9所述的加工頭部，其特征在于：

過程光監控裝置(12)定位在偏轉組件(9、10)的與聚焦光學器件(11)相反的側面上。

11.根據權利要求10所述的加工頭部，其特征在于：

另一光學系統用于偏轉組件(9、10)的偏轉鏡和過程光監控裝置(12)之間。

12.根據權利要求11所述的加工頭部，其特征在于：所述另一光學系統為具有可變焦距的系統。

13.根據權利要求1至4中的任一項所述的加工頭部，其特征在于：

光束成形光學元件用于聚焦光學器件(11)的下游或上游。

14.根據權利要求1至4中的任一項所述的加工頭部，其特征在于：聚焦光學器件(11)具有單獨的、起成像作用的透鏡。

15.一種激光加工機械，其特征在于：

根據權利要求1至14中的任一項所述的加工頭部(1)。

16.根據權利要求15所述的激光加工機械，其特征在于：

激光源(3)借助于光學波導(2)連接至加工頭部(1)。