[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580063022.5
• 申請日: 2015-11-26
• 公開（公告）號: CN107004555B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 奧村大河;大島卓;大南佑介;莊子美南;久田明子;米山明男
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/04;H01J37/147;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 范勝杰;曹鑫

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有：

帶電粒子光學鏡筒，其向試樣臺上所保持的試樣照射一次帶電粒子束；

試樣臺旋轉(zhuǎn)部，其能夠在將所述試樣臺表面與所述一次帶電粒子束的光軸所成的角傾斜到不垂直的角度的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)該試樣臺；

控制部，其控制所述試樣臺旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)角度；

顯示部，其通過斷層攝像法來顯示通過在使所述試樣臺旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)到多個不同的角度的狀態(tài)下向所述試樣照射所述一次帶電粒子束而取得的、與各角度對應(yīng)的所述試樣的透射帶電粒子圖像；以及

選擇輸入部，其通過選擇在所述顯示部顯示出的所述試樣的透射帶電粒子圖像的一部分來顯示所述圖像的旋轉(zhuǎn)圖或截面圖，

所述試樣臺被構(gòu)成為包括檢測在所述試樣的內(nèi)部散射或透射后的帶電粒子的檢測元件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具有試樣臺架，其以可裝卸的方式配置所述試樣臺，

所述試樣臺架具有試樣臺傾斜部，其能夠使所述試樣臺傾斜到多個不同的角度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具備光學透鏡，其使所述一次帶電粒子束相對于該一次帶電粒子束的光軸進行傾斜來入射到所述試樣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具有監(jiān)視器，其按照所述各角度的大小順序，按任意的時間切換顯示與所述各角度對應(yīng)的多個透射帶電粒子圖像。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述檢測元件是通過在所述試樣的內(nèi)部透射或散射后的帶電粒子來發(fā)光的發(fā)光部件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，所述發(fā)光部件能夠使全部波長區(qū)域的可見光、紫外光或者紅外光通過。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具有使所述一次帶電粒子束透射或通過的可裝卸的隔膜，并由該隔膜隔離所述帶電粒子光學鏡筒的內(nèi)部空間與放置所述試樣的空間。

8.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有：

帶電粒子光學鏡筒，其向試樣臺上所保持的試樣照射一次帶電粒子束；

試樣臺架，其以可裝卸的方式配置所述試樣臺；

角度控制部，其通過第一軸以及不同于所述第一軸的第二軸來控制所述一次帶電粒子束與所述試樣的相對角度，其中，所述第一軸為傾斜軸，所述第二軸為旋轉(zhuǎn)軸；

顯示部，其通過斷層攝像法來顯示通過所述第一軸以及所述第二軸上的多個不同的所述相對角度下的一次帶電粒子束的照而取得的、與各相對角度對應(yīng)的所述試樣的透射帶電粒子圖像；以及

選擇輸入部，其通過選擇在所述顯示部顯示出的所述試樣的透射帶電粒子圖像的一部分來顯示所述圖像的旋轉(zhuǎn)圖或截面圖，

所述試樣臺被構(gòu)成為包括檢測在所述試樣的內(nèi)部散射或透射后的帶電粒子的檢測器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述角度控制部具有：

第一軸角度控制部，其通過第一軸來控制所述一次帶電粒子束與所述試樣的相對角度；以及

第二軸角度控制部，其通過不同于所述第一軸的第二軸來控制所述一次帶電粒子束與所述試樣的相對角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述第二軸角度控制部進行以不與所述試樣臺的水平面平行的所述第二軸為中心的旋轉(zhuǎn)運動，通過所述旋轉(zhuǎn)運動使所述試樣臺旋轉(zhuǎn)，并控制所述一次帶電粒子束與所述試樣的相對角度。