[發明專利]基板切斷裝置及基板切斷方法

有效

• 申請號: 201580062063.2
• 申請日: 2015-11-26
• 公開（公告）號: CN107000085B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 島村哲也;百鬼和廣
• 申請（專利權）人: 莊田德古透隆股份有限公司
• 主分類號: B23D45/10
• 分類號: B23D45/10;B26D1/14;B28D1/04;H05K3/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種基板切斷裝置，為用以從基板的一面及另一面切斷前述基板的基板切斷裝置，其特征在于具備：

第1刀具，具有用以從前述一面切斷前述基板的多片第1旋轉刃；

第2刀具，具有用以從前述另一面切斷前述基板的多片第2旋轉刃；

第1旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第1刀具；

第2旋轉驅動手段，用以旋轉驅動前述第2刀具；

刀具支持手段，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式支持前述第1刀具及前述第2刀具；

相位調整手段，用以調整前述第1刀具及前述第2刀具的至少一個相位，使前述第2旋轉刃在前述第1刀具與前述第2刀具相對的對向區域位于相鄰的2片前述第1旋轉刃間；

Y方向驅動手段，用以使前述第1刀具及前述第2刀具和前述刀具支持手段一起移動于Y方向；以及

Z方向驅動手段，使前述第1刀具位在從前述基板的一面側切斷該基板的位置，且使前述第2刀具位在從前述基板的另一面側切斷該基板的位置。

2.根據權利要求1所述的基板切斷裝置，其特征在于具備:用以使前述第1刀具及前述第2刀具在前述基板的切斷方向對著前述基板相對移動的X方向驅動手段。

3.根據權利要求1或2所述的基板切斷裝置，其特征在于:

前述第1旋轉驅動手段具有第1電動機，

前述第2旋轉驅動手段具有第2電動機，

前述相位調整手段具有控制部，用以控制前述第1電動機及前述第2電動機的至少一個，

前述控制部為控制前述第1電動機及前述第2電動機的至少一個，使前述第2旋轉刃在前述對向區域位于相鄰的2片前述第1旋轉刃間。

4.根據權利要求3所述的基板切斷裝置，其特征在于，

前述多片第1旋轉刃和前述多片第2旋轉刃為相同數量且以相同傾角設置，

前述相位調整手段具有用以檢測前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的相位檢測部，

前述控制部為以前述第1刀具及前述第2刀具的各相位的差達到從前述傾角的整數倍減去1/2傾角所得的值的方式，控制前述第1電動機及前述第2電動機的至少一個。

5.一種基板切斷方法，為用以使用權利要求1至4中任一項所述的基板切斷裝置從基板的一面及另一面切斷前述基板的基板切斷方法，其特征在于包括下列步驟:

(a)將具有用以從前述基板的一面切斷前述基板的多片第1旋轉刃的第1刀具以及具有用以從前述基板的另一面切斷前述基板的多片第2旋轉刃的第2刀具，以旋轉軸彼此間形成平行且徑向相對的方式配置；

(b)以前述第2旋轉刃在前述第1刀具和前述第2刀具相對的對向區域位于相鄰的2片前述第1旋轉刃間的方式，使前述第1刀具及前述第2刀具旋轉；以及

(c)控制Y方向驅動手段將前述第1刀具及前述第2刀具定位在切斷的起點，并在前述基板的切斷方向，一邊使前述第1刀具及前述第2刀具對著前述基板相對移動，前述第1刀具及前述第2刀具一邊各自切斷前述基板。