[發(fā)明專利]在基板處理腔室中使用的準(zhǔn)直器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580061359.2
• 申請(qǐng)日: 2015-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN107002220B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬丁·李·瑞克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種用于在基板處理腔室中使用的準(zhǔn)直器，包括：

本體，所述本體具有中央?yún)^(qū)域、周邊區(qū)域以及設(shè)置在所述中央?yún)^(qū)域和所述周邊區(qū)域之間的過渡區(qū)域；

在所述中央?yún)^(qū)域中的多個(gè)第一孔，所述多個(gè)第一孔具有第一深寬比；

在所述周邊區(qū)域中的多個(gè)第二孔，所述多個(gè)第二孔具有第二深寬比，所述第二深寬比小于所述第一深寬比；和

在所述過渡區(qū)域中的多個(gè)第三孔，其中所述多個(gè)第三孔被切割，使所述過渡區(qū)域形成環(huán)繞所述中央?yún)^(qū)域的圓錐形狀，

其中所述過渡區(qū)域在所述中央?yún)^(qū)域中提供圓形輪廓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔、所述多個(gè)第二孔和所述多個(gè)第三孔是粗糙的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第三孔以預(yù)定的角度而被切割。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)直器，其中所述預(yù)定的角度在15°和45°之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔包含61個(gè)孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔、所述多個(gè)第二孔和所述多個(gè)第三孔的上部分包含一倒角。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的準(zhǔn)直器，其中所述倒角為2.5°至15°。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的準(zhǔn)直器，其中所述倒角具有0.15英寸至1英寸的長(zhǎng)度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔的深寬比為2.5：1至3.3：1。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔、所述多個(gè)第二孔和所述多個(gè)第三孔中的每一個(gè)孔是六角形的。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)直器，其中圍繞所述多個(gè)第一孔中的每一個(gè)孔的圓圈具有1.5英寸的直徑。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔、所述多個(gè)第二孔和所述多個(gè)第三孔是粗糙的，且其中所述多個(gè)第三孔以預(yù)定的角度倒角。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的準(zhǔn)直器，其中所述倒角在2.5°15°之間，并且具有0.15英寸至1英寸的長(zhǎng)度。

14.根據(jù)權(quán)利要求12至13任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)直器，其中所述多個(gè)第一孔的深寬比為2.5：1至3.3：1。

15.一種基板處理腔室，包括：

腔室本體，所述腔室本體界定內(nèi)部容積；

濺射靶材，所述濺射靶材設(shè)置在所述內(nèi)部容積的上部分中；

基板支撐件，所述基板支撐件設(shè)置在所述濺射靶材的下方；和

準(zhǔn)直器，所述準(zhǔn)直器設(shè)置在所述濺射靶材和所述基板支撐件之間的所述內(nèi)部容積中，其中所述準(zhǔn)直器如前述權(quán)利要求的任一項(xiàng)所描述。