[發明專利]顯微鏡

有效

• 申請號: 201580060936.6
• 申請日: 2015-09-18
• 公開（公告）號: CN107111121B
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: Y·科特;P-A·科特;S·伊奎斯;A·克恩
• 申請（專利權）人: 納諾利弗股份有限公司
• 主分類號: G02B21/14
• 分類號: G02B21/14;G02B21/36;G02B26/10;G03H1/04;G03H1/08;G03H1/26
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 馬景輝

1.一種顯微鏡(2)，包括：產生光束(7)的光源(4)；包括分束器(14)的光束引導系統(6)，其中所述分束器(14)被配置為將所述光束(7)分成穿過所述光束引導系統的參考波束(7a)和樣本照明波束(7b)，至少一個可樞轉操作方向改變反射鏡(TM1、TM2、TM3、TM4)指引所述參考波束(7a)和所述樣本照明波束(7b)，從而引導所述參考波束和樣本波束沿著其相應的光路；被配置為在所述樣本照明波束的路徑中接納所要觀察的浸入在液體中的樣本(1)的樣本觀察區(17)；被配置為在所述樣本照明波束穿過所述樣本觀察區之后使所述參考波束和所述樣本照明波束重新聚合的波束重聚器(16)；被配置為取得所述波束重聚器下游的光束的至少相位和強度值的光感測系統(8)；以及控制系統，其特征在于，所述控制系統被配置為生成用于自動控制所述至少一個可樞轉操作方向改變反射鏡的角度的反射鏡角度控制信號，所述反射鏡角度控制信號至少部分地基于借助于所述控制系統的反饋環從所述光感測系統接收到的并由所述光束生成的信號，所述顯微鏡還包括被配置為指引所述樣本照明波束(7b)通過所述樣本觀察區并進入顯微鏡物鏡(37)的樣本照明裝置(28)，所述樣本照明裝置(28)包括被配置為指引所述樣本照明波束相對于所述顯微鏡物鏡的光軸(A)處于非零照明角度(α)的反射鏡系統(34)以及被配置為使成一定角度的樣本照明波束圍繞所述光軸旋轉以便由控制系統應用校正從而實現對樣本的折射特性的靜態或動態調整的旋轉波束系統。

2.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，所述反射鏡角度控制信號所基于的、從所述光感測系統接收并且由所述光束生成的所述信號包括通過所述光感測系統接收的光束的強度、相干性、干涉條紋頻率和相位中的任意一個或多個。

3.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，所述至少一個可樞轉操作反射鏡(TM1)位于所述樣本照明波束的路徑中，以校正樣本照明波束的光路的偏離和/或調整該波束的樣本照明角度。

4.根據權利要求3所述的顯微鏡，其中，所述可樞轉操作反射鏡(TM1)基本上位于所述樣本觀察區之上，與顯微鏡物鏡(37)的光軸對齊。

5.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，所述至少一個可樞轉操作反射鏡(TM2、TM3、TM4)位于所述參考波束的路徑中。

6.根據權利要求4或5所述的顯微鏡，其中，可樞轉操作反射鏡(TM2、TM3、TM4)位于光程差(OPD)調整裝置(32)之前、之后或者作為該光程差(OPD)調整裝置的一部分，被配置為校正所述參考波束在所述光程差(OPD)調整裝置中的偏離。

7.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，至少一個可樞轉操作反射鏡(TM2)位于光程差(OPD)調整裝置(32)和所述波束重聚器之間，被配置用于創建和調整通過所述光感測系統捕獲的干涉測量信號。

8.根據權利要求1所述的顯微鏡，還包括位于所述參考波束的光路中的光程差(OPD)調整裝置(32)，所述光程差(OPD)調整裝置被配置為調整所述參考波束相對于所述樣本照明波束的光程長度，所述光程差(OPD)調整裝置包括第一可樞轉調整光偏離元件(42，30a)和第二可樞轉調整光偏離元件(44，30c)，它們每個包括位于所述參考波束的所述光路中的透明材料(42，44)或反射材料(30a，30b，30c)，由此所述光偏離元件的傾斜角度被所述控制系統控制，以調整所述光程差。

9.根據權利要求1所述的顯微鏡，其中，所述可樞轉操作反射鏡是MEMS類型部件。

10.根據權利要求1所述的顯微鏡，還包括被配置為接收來自所述光感測系統(8)的多個圖像幀數據的數據處理系統(10)，所述多個圖像幀是針對所述樣本照明波束圍繞所述顯微鏡物鏡光軸的至少360°旋轉生成的。

11.根據權利要求10所述的顯微鏡，其中，由所述光感測系統和所述數據處理系統每360°捕獲的幀的數量大于10。