[發明專利]彈性波諧振器、彈性波濾波器、雙工器以及彈性波裝置

有效

• 申請號: 201580060673.9
• 申請日: 2015-11-16
• 公開（公告）號: CN107078712B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 中川亮
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/64;H03H9/72
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 趙琳琳

本發明提供一種能夠抑制非線性信號的產生的彈性波諧振器。彈性波諧振器(1)具備壓電基板(2)和形成在壓電基板(2)上的IDT電極(3)。IDT電極(3)具備：第1電極層(4)，具有配置在壓電基板(2)側的第1主面(4a)和與第1主面(4a)對置的第2主面(4b)，并由Al或以Al為主體的合金構成。利用SH波作為傳播的彈性波。在彈性波諧振器(1)中，在將彈性波諧振器(1)的諧振頻率設為fr并將反諧振頻率設為fa時，在由下述式(1)表示的頻率f處，通過二維有限元法計算出的第1主面(4a)中的失真的S₄分量的絕對值的最小值為1.4×10^?3以下。f＝fr+0.06×bw…式(1)。式(1)中，bw是fa?fr。

技術領域

本發明涉及在壓電基板上設置有IDT電極的彈性波諧振器、以及具有該彈性波諧振器的彈性波濾波器和雙工器。

背景技術

以往，作為構成在便攜式電話機等中使用的帶通濾波器的諧振器，廣泛使用了彈性波諧振器。例如，在下述專利文獻1公開了一種具備壓電基板和設置在該壓電基板上的IDT電極的彈性波諧振器。在專利文獻1中記載了上述IDT電極由Al膜形成。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平2-295212號公報

發明內容

發明要解決的課題

然而，在像專利文獻1的彈性波諧振器那樣由Al膜構成IDT電極的情況下，有時信號的線性度會下降。因此，在將專利文獻1的彈性波諧振器用于雙工器的發送濾波器的情況下，有時從發送濾波器產生的非線性信號的電平會增大，從而接收靈敏度下降。

本發明的目的在于，提供一種能夠抑制非線性信號的產生的彈性波諧振器、以及具有該彈性波諧振器的彈性波濾波器和雙工器。

用于解決課題的技術方案

本發明涉及的彈性波諧振器，具備壓電基板和形成在上述壓電基板上的IDT電極，其中，上述IDT電極具備：第1電極層，具有配置在上述壓電基板側的第1主面和與上述第1主面對置的第2主面，并由Al或以Al為主體的合金構成，利用SH波作為傳播的彈性波，在將上述彈性波諧振器的諧振頻率設為fr，并將反諧振頻率設為fa時，在由下述式(1)表示的頻率f處，通過二維有限元法計算出的上述第1主面中的失真的S₄分量的絕對值的最小值為1.4×10^-3以下。

f＝fr+0.06×bw…式(1)

(式(1)中，bw是fa-fr)

在本發明涉及的彈性波諧振器的某個特定的局面中，在上述頻率f處，通過二維有限元法計算出的上述第1主面中的失真的S₄分量的絕對值的最大值為2.7×10^-3以下。在該情況下，能夠進一步抑制信號的線性度的下降。

在本發明涉及的彈性波諧振器的另一個寬泛的局面中，彈性波諧振器具備壓電基板和形成在上述壓電基板上的IDT電極，其中，上述IDT電極具備：第1電極層，具有配置在上述壓電基板側的第1主面和與上述第1主面對置的第2主面，并由Al或以Al為主體的合金構成，利用SH波作為傳播的彈性波，在將上述彈性波諧振器的諧振頻率設為fr，并將反諧振頻率設為fa時，在由下述式(1)表示的頻率f處，通過二維有限元法計算出的上述第1主面的失真的S₄分量的絕對值的最大值為2.7×10^-3以下。

f＝fr+0.06×bw…式(1)

(式(1)中，bw是fa-fr)