[發明專利]利用衍射光柵的三維形狀測量裝置

有效

• 申請號: 201580059588.0
• 申請日: 2015-11-11
• 公開（公告）號: CN107076548B
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 徐長一
• 申請（專利權）人: 株式會社高迎科技
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，包括：

分光器，其安裝于光源部發生的光的行進方向，使光的一部分沿第一路徑反射，且使光的一部分沿第二路徑透過；

圖像傳感器，其接收沿所述第一路徑行進而被具備至少一個孔的測量對象物反射的光，并測量所述測量對象物的形狀；及

透過型衍射光柵，其配置于所述光源部與所述分光器之間的光路徑、所述測量對象物與所述分光器之間的光路徑及所述測量對象物與所述圖像傳感器之間的光路徑中一個以上的光路徑，且

所述衍射光柵衍射使入射到所述衍射光柵的光通過所述衍射光柵并衍射所述光，以便具有互不相同視差信息，并且

所述圖像傳感器接收通過所述衍射光柵具有互不相同視差信息，生成基于所述各個互不相同視差信息的多個圖像。

2.根據權利要求1所述的利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，

所述圖像傳感器包括多個圖像傳感器，所述多個圖像傳感器通過單一成像透鏡接收所述具有互不相同視差信息的光，生成基于所述各個互不相同的視差信息的所述多個圖像。

3.根據權利要求1所述的利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，

所述測量對象物配置得使沿所述第一路徑反射的光在形成所述孔的前面的相反面的后面反射，且

所述圖像傳感器使在所述測量對象物的所述后面反射的光與在透過所述后面并位于所述測量對象物的所述后面內部的所述孔的底面反射光干涉并接收，從而測量所述測量對象物的形狀。

4.根據權利要求1所述的利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，

還包括基準鏡，其配置于沿所述第二路徑透過的光的行進方向，形成與所述測量對象物反射的光引起干涉的基準光；

所述圖像傳感器利用因所述測量對象物反射的光與所述基準光的重疊而導致的干涉信號，測量所述測量對象物的所述形狀。

5.根據權利要求1所述的利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，

所述衍射光柵具有透鏡陣列、棱鏡陣列、線柵中至少一種形態。

6.根據權利要求1所述的利用衍射光柵的三維形狀測量裝置，其中，

利用所述衍射光柵的三維形狀測量裝置以基板的導通孔為所述測量對象物，測量三維形狀。