[發明專利]表面形狀測定裝置

在審

• 申請號: 201580058799.2
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN107148550A
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 宮脅崇
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/00;G01B11/26
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 陳偉,閆劍平

1.一種表面形狀測定裝置，其特征在于，具備：

測定頭，其設置有使用第一探測光對到被測定物的測定面為止的距離進行檢測的距離檢測器、及使用第二探測光對所述測定面的角度進行檢測的角度檢測器；

照射位置移動機構，其使所述測定面上的所述第一探測光及所述第二探測光的照射位置移動；以及

控制部，其基于所述第一探測光及所述第二探測光的照射位置、通過所述距離檢測器檢測到的所述測定面的距離及通過所述角度檢測器檢測到的所述測定面的角度，導出所述測定面的形狀，

所述第一探測光及所述第二探測光相對于所述測定面具有規定的入射角地向所述測定面傾斜入射。

2.根據權利要求1所述的表面形狀測定裝置，其特征在于，

所述距離檢測器及所述角度檢測器以使朝向所述測定面射出的所述第一探測光與第二探測光交叉的方式配設于所述測定頭，

所述控制部以使所述第一探測光與所述第二探測光交叉的位置成為測定位置的方式控制所述照射位置移動機構的動作。

3.根據權利要求1或2所述的表面形狀測定裝置，其特征在于，

所述照射位置移動機構以使所述第一探測光及所述第二探測光的照射位置沿著預先設定的測定線移動的方式進行控制，

所述第二探測光相對于所述測定面的入射面設定為與所述測定線正交。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的表面形狀測定裝置，其特征在于，

所述距離檢測器及所述角度檢測器以使所述第一探測光相對于所述測定面的入射面與所述第二探測光相對于所述測定面的入射面正交的方式配設于所述測定頭。

5.根據權利要求2所述的表面形狀測定裝置，其特征在于，

所述控制部以在所述測定位置在所述測定面立起的法線、和所述第一探測光的入射面與所述第二探測光的入射面之間的交線一致的方式控制所述照射位置移動機構的動作。

6.一種表面形狀測定裝置，其特征在于，具備：

測定頭，其設置有使用第一探測光對到被測定物的測定面為止的距離進行檢測的距離檢測器、及使用第二探測光對所述測定面的角度進行檢測的角度檢測器；

照射位置移動機構，其使所述測定面上的所述第一探測光及所述第二探測光的照射位置移動；以及

控制部，其基于所述第一探測光及所述第二探測光的照射位置、通過所述距離檢測器檢測到的所述測定面的距離及通過所述角度檢測器檢測到的所述測定面的角度，導出所述測定面的形狀，

所述測定頭具有旋轉軸，所述測定頭構成為能夠繞所述旋轉軸旋轉，由此，所述距離檢測器及所述角度檢測器能夠擺動，

所述第一探測光相對于所述測定面具有規定的入射角地向所述測定面傾斜入射。

7.根據權利要求6所述的表面形狀測定裝置，其特征在于，

所述第二探測光相對于所述測定面具有規定的入射角地向所述測定面傾斜入射，

所述距離檢測器及所述角度檢測器以使所述第一探測光與所述第二探測光交叉的方式配設于所述測定頭，

所述控制部以使所述第一探測光與所述第二探測光交叉的位置成為測定位置的方式控制所述照射位置移動機構的動作。