[發(fā)明專(zhuān)利]基板清洗輥、基板清洗裝置及基板清洗方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580058746.0
• 申請(qǐng)日: 2015-10-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107078046B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石橋知淳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種基板清洗輥，具有芯材和擦洗部件，該芯材具有圓柱形狀，該擦洗部件固定于該芯材的外周面且由多孔質(zhì)部件構(gòu)成，該基板清洗輥以長(zhǎng)度方向與所述基板的表面平行的方式與基板接觸，并繞所述長(zhǎng)度方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而用于擦洗清洗所述基板的表面，該基板清洗輥的特征在于：

所述擦洗部件具有：

多個(gè)結(jié)，該多個(gè)結(jié)在表面的一部分至少具有表層，在清洗所述基板的表面時(shí)，該多個(gè)結(jié)與所述基板的表面接觸；以及

斜面清洗部，相比于所述多個(gè)結(jié)該斜面清洗部位于更靠近所述長(zhǎng)度方向的至少一端側(cè)的位置，該斜面清洗部具有傾斜面，在所述基板清洗輥與所述基板接觸而清洗所述基板表面時(shí)，所述傾斜面與所述基板的周緣的斜面部的最邊緣部抵接觸碰，

所述斜面清洗部的傾斜面是表層被除去而露出多孔質(zhì)部件的結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清洗輥，其特征在于，

所述斜面清洗部的由包含所述旋轉(zhuǎn)軸的假想平面剖切的剖面具有包含接觸面的梯形形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清洗輥，其特征在于，

所述斜面清洗部的高度比所述結(jié)的高度高。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清洗輥，其特征在于，

所述斜面清洗部的高度比所述結(jié)的高度高，

在清洗所述基板時(shí)，所述基板的表面與所述結(jié)接觸，并且所述斜面清洗部的傾斜面的露出的多孔質(zhì)部件與所述基板的斜面部接觸而變形。

5.一種基板清洗裝置，其特征在于，具備：

基板保持構(gòu)件，該基板保持構(gòu)件對(duì)基板進(jìn)行保持；

基板清洗輥，該基板清洗輥具有芯材和擦洗部件，該芯材具有圓柱形狀，該擦洗部件固定于該芯材的外周面且由多孔質(zhì)部件構(gòu)成，該基板清洗輥以長(zhǎng)度方向與所述基板的表面平行的方式與所述基板接觸，并繞所述長(zhǎng)度方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而用于擦洗清洗所述基板的表面；

上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以所述長(zhǎng)度方向與所述基板的表面成水平的方式，將所述基板清洗輥按壓于所述基板保持構(gòu)件所保持的所述基板的表面；以及

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使被所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)按壓于所述基板的表面的所述基板清洗輥繞所述長(zhǎng)度方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，

所述基板清洗輥的所述擦洗部件中，在相比于在表面的一部分至少具有表層的多個(gè)結(jié)位于更靠近所述長(zhǎng)度方向的至少一端側(cè)的位置具備斜面清洗部，該斜面清洗部具有傾斜面，在所述基板清洗輥與所述基板接觸時(shí)，所述傾斜面與所述基板的周緣的斜面部的最邊緣部抵接觸碰，

所述傾斜面是表層被除去而露出多孔質(zhì)部件的結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板清洗裝置，其特征在于，

所述基板的周緣的所述斜面部具有兩個(gè)傾斜部和該兩個(gè)傾斜部之間的側(cè)部；

在所述基板清洗輥被所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)按壓于所述基板保持構(gòu)件所保持的所述基板時(shí)，所述傾斜面的露出的多孔質(zhì)部件會(huì)變形，所述傾斜面與所述基板的一個(gè)所述傾斜部和所述側(cè)部接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板清洗裝置，其特征在于，

所述基板的周緣的所述斜面部具有向外側(cè)凸出的彎曲剖面；

在所述基板清洗輥被所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)按壓于所述基板保持構(gòu)件所保持的所述基板時(shí)，所述傾斜面的露出的多孔質(zhì)部件會(huì)變形，所述傾斜面與所述基板的從所述表面到所述斜面部的最邊緣部為止的部分接觸。

8.根據(jù)權(quán)利要求5～7中任一項(xiàng)所述的基板清洗裝置，其特征在于，

具備兩個(gè)所述基板清洗輥來(lái)作為分別清洗所述基板的兩個(gè)表面的兩個(gè)基板清洗輥。

9.一種基板清洗方法，保持基板并使基板旋轉(zhuǎn)，使具有圓柱形狀的基板清洗輥繞該基板清洗輥的長(zhǎng)度方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，該基板清洗輥具有在表面的一部分至少具有表層且內(nèi)部為多孔質(zhì)物質(zhì)的多個(gè)結(jié)，以所述長(zhǎng)度方向與所述基板的表面平行的方式，使旋轉(zhuǎn)的所述基板清洗輥與旋轉(zhuǎn)的所述基板接觸，從而擦洗清洗所述基板的表面，該基板清洗方法的特征在于：

在所述基板清洗輥與所述基板接觸時(shí)，所述基板清洗輥的所述多個(gè)結(jié)與所述基板接觸而清洗基板表面，通過(guò)在所述長(zhǎng)度方向的至少一端側(cè)所形成的斜面清洗部的傾斜面，與所述基板的周緣的斜面部的最邊緣部接觸來(lái)清洗所述最邊緣部，

所述傾斜面是表層被除去而露出多孔質(zhì)部件的結(jié)構(gòu)。