[發明專利]連接連接器

在審

• 申請號: 201580057907.4
• 申請日: 2015-10-01
• 公開（公告）號: CN107110888A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 鄭永倍
• 申請（專利權）人: 株式會社ISC
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 楊文娟,臧建明

技術領域

一或多個例示性實施例是關于一種連接連接器，且更特定言之，是關于一種可通常在長時間內周期使用而無電性質的惡化的連接連接器。

背景技術

通常執行電測試以判定諸如制造的半導體裝置的測試目標裝置的缺陷。舉例而言，可通過將測試信號傳輸至測試裝置來判定基板是否短路。測試裝置及測試目標裝置不直接相互接觸，但通過使用叫作連接連接器的中間物而間接地相互接觸。

此因為當測試裝置的端子直接接觸測試目標裝置的終端時，在重復測試期間可擦傷或損傷端子。又，若端子受損傷，則測試裝置或測試目標裝置將必須被替換，所以總成本會增大。因此，當將連接連接器用作中間物時，測試目標裝置可接觸測試裝置的連接連接器。當歸因于重復接觸而連接連接器受擦傷或損傷時僅需要替換連接連接器，所以可節省總替換成本。

KR 10-2006-0013429中揭示的各向異性傳導性連接器為連接連接器的實例。

圖1以及圖2的各向異性傳導性連接器(10)由矩形各向異性傳導膜(10A)、整體地設置于各向異性傳導膜(10A)的一個表面上的薄片狀連接器(20)以及支撐各向異性傳導膜(10A)的矩形板形支撐部分(30)構成。各向異性傳導性連接器(10)中的各向異性傳導膜(10A)由分別在厚度的方向上延伸的多個圓柱形傳導路徑形成部分(11)以及用于將此等傳導路徑形成部分(11)相互絕緣的絕緣部分(14)構成。在此實例中，根據柵格點的位置按恒定間距安置傳導路徑形成部分(11)。

薄片狀連接器(20)包含可撓性絕緣薄片(21)且設置于各向異性傳導膜(10A)上。在絕緣薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金屬形成的多個電極結構(22)根據對應于將為絕緣薄片(21)中的連接對象的電極的圖案的圖案在絕緣薄片(21)的平面方向上相互間隔開。又，絕緣薄片(21)具備對應于用于在各向異性傳導膜(10A)中耦接的突出部分(15)的用于耦接的多個通孔(26)。

圖3中示出的實施例類似于圖1以及圖2中示出的實施例。然而，圖3與圖1以及圖2的不同之處在于，薄片狀連接器(20)具有絕緣薄片(21)，其由其中設置與絕緣薄片(21)的兩側通信的空隙的網狀織物、不織布纖維或多孔薄片形成。又，在絕緣薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金屬形成的多個電極結構(22)根據對應于將為絕緣薄片(21)中的連接對象的電極的圖案的圖案在絕緣薄片(21)的平面方向上相互間隔開。

在根據現有技術的連接連接器中，當端子觸碰電極結構時，測試目標裝置或電極結構的端子的表面可受到損傷。詳言之，當測試目標裝置的金屬端子直接觸碰由金屬形成的電極結構時，兩個表面可受到損傷。

損傷的表面可不僅降低連接連接器的耐久性，且也減小導電率。

發明內容

技術的課題

本發明是為了解決上述的問題而做成。一或多個例示性實施例包含一種可在長時間內周期使用而無電性質惡化的連接連接器。

解決問題的手段

根據一或多個例示性實施例，一種配置于測試目標裝置與測試裝置之間且設置以用于電性連接測試目標裝置的端子與測試裝置的襯墊的連接連接器，所述連接連接器包含：各向異性傳導性薄片，由多個傳導性部分構成，其中多個傳導性粒子在彈性絕緣材料的區域處的厚度方向上延伸，區域對應于測試目標裝置的端子以及配置于傳導性部分之間且設置以用于支撐且隔離傳導性部分的絕緣支撐部分；薄片狀連接器，由設置于各向異性傳導性薄片的上表面與下表面之間、插入于各向異性傳導性薄片中且具有多個空隙的多孔薄片構成；以及多個電極，對應于傳導性部分配置，且與多孔薄片整體耦接。電極中的每一個由金屬材料形成且電性連接至傳導性部分中的每一個。

電極中的每一個可位于傳導性部分的上表面與下表面之間。

每一電極可具有對應于每一傳導性部分的水平橫截面的板的形狀。

傳導性部分中的每一個可包括配置于電極上方、接觸測試目標裝置的端子且由第一傳導性粒子構成的第一傳導性部分，以及配置于電極下且由第二傳導性粒子構成的第二傳導性部分。

第一傳導性部分的第一傳導性粒子的每單位面積的密度可大于第二傳導性部分的第二傳導性粒子的每單位面積的密度。

第一傳導性部分的第一傳導性粒子的平均直徑可小于第二傳導性部分的第二傳導性粒子的平均直徑。

薄片狀連接器的位置可比各向異性傳導性薄片的上表面與下表面之間的中間區域高。

薄片狀連接器可位于各向異性傳導性薄片的上表面與下表面的中間。