[發明專利]堅固的微機電開關

有效

• 申請號: 201580057186.7
• 申請日: 2015-10-19
• 公開（公告）號: CN107078000B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 皮埃爾·布隆迪;羅曼·斯特凡尼尼;L·Y·張;阿貝杜勒·哈利姆·察爾
• 申請（專利權）人: 埃爾曼斯公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 董科

1.一種微機電(MEMS)開關(1)，包括：

-一基板(S)，

-一形成在所述基板(S)上的信號輸入線(4)，

-一形成在所述基板(S)上的信號輸出線(5)

-一可變形導電膜(2)，電連接到所述信號輸出線(5)上，所述可變形導電膜(2)通過布置在所述基板(S)上的錨(6)懸置在一平面中，其中平面平行于所述基板(S)的平面，所述可變形導電膜(2)包括一面對信號輸入線(4)的接觸凹部(9)，使得在可變形導電膜(2)的未變形狀態下，接觸凹部(9)不與信號輸入線(4)接觸，并且在可變形導電膜(2)的變形狀態下，所述接觸凹部(9)與信號輸入線(4)接觸，以用于從信號輸入線(4)傳送信號到信號輸出線(5)，

-一致動電極(3)，形成在所述可變形導電膜(2)下方的所述基板(S)上，所述致動電極(3)用于使所述可變形導電膜(2)變形，以在所述可變形導電膜(2)的接觸凹部(9)和信號輸入線(4)之間產生電接觸，

其特征在于：

-所述可變形導電膜(2)具有平面的圓形的形狀，所述錨(6)布置在其周邊，以便在可變形導電膜(2)的中心區域中集中一較低的剛度，所述可變形導電膜(2)并且具有徑向開口(2a)，其在信號輸入線(4)的方向上形成一銳角，使可變形導電膜(2)的周邊朝向中心變窄，接觸凹部(9)形成在可變形導電膜的中心區域(2)，使得信號輸入線(4)的端部與接觸凹部(9)相對，

-所述致動電極(3)具有與所述可變形導電膜(2)相同的形狀，并圍繞在所述信號輸入線(4)的所述基板(S)上，以及

-可變形導電膜(2)的下表面和致動電極(3)之間的間隙僅為一氣隙，其中可變形導電膜的下表面面對致動電極。

2.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，在徑向開口(2a)的中軸上形成有一錨(6)。

3.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，在與所述可變形導電膜(2)的外接圓具有相同中心的圓上，兩個錨關于所述徑向開口(2a)的中軸對稱地形成，在與所述可變形導電膜(2)的外接圓具有相同中心的圓上，形成在每個錨和徑向開口(2a)的中軸之間的角度不高于30°。

4.根據權利要求1或2所述的微機電開關(1)，其特征在于，其它的錨(6)關于所述徑向開口(2a)的中軸對稱地形成。

5.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，至少一個切口(7)，形成在可變形導電膜(2)上的一圓上的兩個完全相對的錨(6)之間，其中圓具有與可變形導電膜(2)的外接圓相同的中心。

6.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，一切口(7)，形成在所述可變形導電膜(2)上，并靠近每個錨(6)，所述切口(7)形成一圓的外周上，其中圓的中心與可變形導電膜(2)的外接圓的中心相同。

7.根據權利要求6所述的微機電開關(1)，其特征在于，所述切口(7)穿過所述可變形導電膜(2)的厚度。

8.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，通孔(8)形成在一圓上，其中圓具有與所述可變形導電膜(2)的外接圓相同的中心。

9.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，一個或多個止動件(10)，形成在所述可變形導電膜(2)的下表面上，每個止動件(10)面向金屬島(3a)，金屬島與致動電極(3)電隔離。

10.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，所述接觸凹部(9)由屬于鉑系元素的金屬制成，或由屬于其氧化物的金屬制成，或由屬于兩者結合的金屬制成。

11.根據權利要求1所述的微機電開關(1)，其特征在于，所述可變形導電膜(2)由金制成，或者是金屬合金，或是包含至少一個導體的一組層。