[發明專利]成膜裝置

有效

• 申請號: 201580054834.3
• 申請日: 2015-06-22
• 公開（公告）號: CN106795626B
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 野澤直之;松木信雄;坂本憐士;石原雅仁
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/34
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 柳愛國

1.一種成膜裝置，用于在均具有第一面及第二面的多個基板中的每個基板的所述第一面及所述第二面中的每一面上形成膜，所述成膜裝置具備：

腔室；

保持部，所述保持部具有彼此位于相反側上的第一夾具及第二夾具并且構成為，在所述腔室中，由所述第一夾具保持第一基板的所述第二面一側，由所述第二夾具保持第二基板的所述第一面一側；

驅動部，用于移動保持所述基板的所述保持部，使得分別由所述第一夾具和第二夾具保持的所述第一基板和第二基板通過所述腔室中的成膜區域；

第一成膜部，用于在由所述第一夾具所保持的第一基板的第一面上形成膜；

第二成膜部，用于在由所述第二夾具所保持的第二基板的第二面上形成膜；

操作機構，用于當在所述第一基板的第二面一側由所述第一夾具所保持的情況下由第一成膜部在所述第一基板的第一面上形成膜之后操作所述第一基板使得所述第一基板的第一面一側由所述第二夾具所保持；以及

冷卻部，用于冷卻所述保持部。

2.如權利要求1所述的成膜裝置，其中，所述冷卻部包含配置于所述保持部中的冷媒流路、用于向所述冷媒流路供應冷媒的供應部。

3.如權利要求2所述的成膜裝置，進一步具備：

一端連接于設在所述腔室的開口、另一端由閉塞構件所閉塞的波紋管；以及

用于將所述保持部與所述閉塞構件連接的中空構件；

其中，所述供應部經由所述中空構件從所述腔室的外部向所述保持部供應冷媒。

4.如權利要求3所述的成膜裝置，進一步具備用于隨著所述驅動部移動所述保持部的操作而移動所述閉塞構件的第二驅動部。

5.如權利要求1所述的成膜裝置，其中，所述驅動部使所述保持部沿著平行于所述第一基板和第二基板中的每個基板的處理目標面的移動路徑而移動。

6.如權利要求5所述的成膜裝置，其中，所述第一成膜部和第二成膜部在以下兩種情形下均在所述第一基板和第二基板上形成膜：所述第一基板和第二基板沿著所述移動路徑沿第一方向移動；以及所述第一基板和第二基板沿著所述移動路徑沿與所述第一方向相反方向的第二方向移動。

7.如權利要求1所述的成膜裝置，其中，

所述第一成膜部和第二成膜部同時將膜形成于由所述第一夾具所保持的第一基板的第一面和由所述第二夾具所保持的第二基板的第二面上。

8.如權利要求1所述的成膜裝置，其中，所述保持部包含分離部，所述分離部用于將所述第一成膜部一側的空間與所述第二成膜部一側的空間分離，使得在形成膜期間在所述保持部的可動范圍中所述第一成膜部與所述第二成膜部不會面對彼此。

9.如權利要求8所述的成膜裝置，其中，所述分離部將所述第一成膜部一側的空間與所述第二成膜部一側的空間分離，使得在形成膜期間在所述保持部的可動范圍的整個范圍所述第一成膜部與所述第二成膜部不會面對彼此。

10.如權利要求1所述的成膜裝置，具備：

搬送機構，用于在所述保持部與所述操作機構之間搬送所述第一基板及所述第二基板，其中，

所述驅動部使所述保持部沿著移動路徑移動；

所述搬送機構將所述第一基板及所述第二基板沿與所述移動路徑平行的方向搬送；

所述操作機構被構成為使一容器移動，并且在所述搬送機構從所述保持部的所述第一夾具所搬送來的所述第一基板被收容于所述容器的狀態下使所述容器沿與所述移動路徑正交的方向移動；以及

在從所述第一夾具所搬送來的所述第一基板被收容于所述容器的狀態下所述容器通過所述操作機構的移動以所述第一基板通過所述搬送機構從所述容器搬送至所述第二夾具的方式進行。

11.如權利要求1所述的成膜裝置，其中，所述第一成膜部和第二成膜部構成為能夠將多種膜形成于所述第一基板和第二基板上。