[發(fā)明專利]壓電聲波共振器為基礎(chǔ)的傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580054319.5
• 申請(qǐng)日: 2015-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN106796473B
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·劉;J·M-L·蔡;X·李;M·達(dá)納曼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 因文森斯公司
• 主分類號(hào): G06F3/043
• 分類號(hào): G06F3/043
• 代理公司: 11314 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 程偉;王錦陽

本文介紹一種壓電聲波共振器為基礎(chǔ)的傳感器。一種裝置可包括壓電換能器陣列、以及已附接至該壓電換能器陣列用以形成共振器陣列的空腔陣列。該共振器陣列的其中一共振器可與對(duì)應(yīng)于已觸碰該共振器的第一判定的第一頻率響應(yīng)相關(guān)聯(lián)，以及與對(duì)應(yīng)于尚未觸碰該共振器的第二判定的第二頻率響應(yīng)相關(guān)聯(lián)。該壓電換能器陣列可包括壓電材料；已在該壓電材料的第一側(cè)上形成的第一組電極；以及已在該壓電材料的第二側(cè)上形成的第二組電極。

相關(guān)申請(qǐng)案對(duì)照參考

本申請(qǐng)案主張2014年8月6日提出申請(qǐng)題為“PIEZOELECTRIC ACOUSTIC RESONATORBASED SENSOR”的美國(guó)專利申請(qǐng)案第14/453,326號(hào)的優(yōu)先權(quán)，其全文完整合并于本文中作為參考。

技術(shù)領(lǐng)域

本揭露大體上關(guān)于壓電聲波共振器為基礎(chǔ)的傳感器的具體實(shí)施例。

先前技術(shù)

現(xiàn)有的指紋傳感器技術(shù)使用光學(xué)、超音波、熱及/或射頻(RF)手段來偵檢指紋。然而，現(xiàn)有的指紋傳感器技術(shù)有一些缺點(diǎn)，參照本文中所述的各項(xiàng)具體實(shí)施例可指出其中一些缺點(diǎn)。

附圖說明

本揭露的非限制性具體實(shí)施例是參照以下圖式作說明，其中相似的參考元件符號(hào)是指各個(gè)視圖各處相似的部分，除非另有指明：

圖1根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示壓電聲波共振器為基礎(chǔ)的傳感器的方塊圖；

圖2根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)壓電聲波共振器的截面的方塊圖；

圖3根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示MEMS壓電聲波共振器的頻率響應(yīng)；

圖4根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示包括一種材料的MEMS壓電聲波共振器的截面的方塊圖；

圖5根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示通過手指接觸的MEMS壓電聲波共振器陣列其中一部分的截面的方塊圖；

圖6根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示另一MEMS壓電聲波共振器的截面的方塊圖；

圖7根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示另一MEMS壓電聲波共振器的頻率響應(yīng)；

圖8根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示通過手指接觸的另一MEMS壓電聲波共振器陣列其中一部分的截面的方塊圖；

圖9根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示壓電聲波共振器的電極的俯視圖的方塊圖；

圖10根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示壓電聲波共振器的其它電極的俯視圖的方塊圖；

圖11根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示用于裝配MEMS壓電聲波共振器的方法的方塊圖；以及

圖12根據(jù)各項(xiàng)具體實(shí)施例，繪示用于裝配另一MEMS壓電聲波共振器的方法的方塊圖。

具體實(shí)施方式

本揭露的態(tài)樣現(xiàn)將參照里面有展示例示性具體實(shí)施例的附圖在下文中更完全地作說明。在底下的說明中，為了解釋，提出許多特定細(xì)節(jié)以便透徹理解各項(xiàng)具體實(shí)施例。然而，本揭露可用許多不同形式予以體現(xiàn)，并且不應(yīng)該予以推斷為受限于本文所提的例示性具體實(shí)施例。

指紋傳感器有兩種，即撥刷式(swipe-based)及區(qū)域式(area-based)。對(duì)于行動(dòng)應(yīng)用，光學(xué)方法太笨重且昂貴；熱及撥刷式RF方法因使用者體驗(yàn)而不受歡迎；區(qū)域式超音波與RF傳感器面臨降低制造成本的挑戰(zhàn)。一般來說，以上現(xiàn)有的指紋傳感器技術(shù)因手指污染、傳感器污染、成像誤差等因素而蒙受誤差。本文中所揭示的各項(xiàng)具體實(shí)施例通過測(cè)量壓電聲波共振器的頻率響應(yīng)，提供改善的指紋傳感器效能。