[發明專利]具有視覺引導對準的電氣測試系統

有效

• 申請號: 201580054241.7
• 申請日: 2015-09-24
• 公開（公告）號: CN106796263B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: E.K.蔡斯;T.A.勒布朗;K.M.奧康諾爾
• 申請（專利權）人: 伊斯曼柯達公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李湘;鄭冀之

1.一種電氣測試系統，其被配置來測試在基板卷材的連續框架上制造的一系列裝置，每個框架包括多個基準標記以及具有一系列測試焊盤的裝置，所述電氣測試系統包括：

卷材傳送系統，其用于使所述基板卷材沿著卷材傳送路徑前進；

電氣測試夾具，其包括適于與所述基板卷材上的特定裝置的所述測試焊盤進行電氣接觸的一組測試探針；

測試儀器，其與該組測試探針相關聯；

數字成像系統，其被配置來捕獲包括所述特定裝置的所述測試焊盤以及所述基準標記的特定框架的至少一部分的數字圖像；

基準感測系統，其包括多個基準傳感器，每個基準傳感器適于感測相關聯的基準標記的位置；以及

控制器，其被配置來：

分析由所述數字成像系統捕獲的數字圖像，以確定所述捕獲的數字圖像中測試焊盤的位置與所述基準標記的位置之間的空間關系；

使用所述基準感測系統確定所述基準標記的位置；

響應于測試焊盤的位置與所述基準標記的位置之間的所述確定的空間關系以及所述基準標記的確定的位置調整所述電氣測試夾具的位置，使得所述測試探針與對應的測試焊盤對準；

移動所述測試探針，使所述測試探針與所述測試焊盤電氣接觸；以及

使用所述測試儀器執行所述特定裝置的電氣測試。

2.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述數字成像系統包括線掃描攝像機，所述線掃描攝像機被配置來當所述基板卷材在基板卷材前進方向上沿著所述卷材傳送路徑移動時捕獲一組連續圖像線，其中該組連續圖像線被組合以提供所述數字圖像。

3.如權利要求2所述的電氣測試系統，其中所述數字成像系統還包括編碼器，所述編碼器被配置來接觸所述基板卷材的表面并且提供表示所述基板卷材的位置的編碼器信號，并且其中響應于所述編碼器信號確定用于捕獲所述連續圖像線的定時。

4.如權利要求3所述的電氣測試系統，其中所述基準傳感器中的至少兩個沿著所述基板卷材前進方向彼此間隔開，并且其中使用所述基準傳感器中的所述至少兩個確定的所述基準標記的所述位置之間的差用于校準所述編碼器信號。

5.如權利要求2所述的電氣測試系統，其中提供所述線掃描攝像機與所述基準感測系統之間的距離，使得當框架的所述基準標記接近所述基準傳感器時，所述線掃描攝像機的視場定位在兩個連續框架之間的框架間區域中。

6.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述基準傳感器是數字攝像機系統。

7.如權利要求6所述的電氣測試系統，其中所述數字攝像機系統中的每一個具有大于所述基準標記的所述位置中的預期變化性的視場。

8.如權利要求6所述的電氣測試系統，其中所述數字攝像機系統中的每一個具有小于所述數字成像系統的視場的視場。

9.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述電氣測試夾具中的該組測試探針包括：

第一組測試探針，其被配置來接觸所述基板卷材的第一表面上的第一組測試焊盤；以及

第二組測試探針，其被配置來接觸所述基板卷材的第二表面上的第二組測試焊盤。

10.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述電氣測試夾具的所述位置的所述調整包括在平行于所述基板卷材的表面的平面內平移所述電氣測試夾具。

11.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述電氣測試夾具的所述位置的所述調整包括使所述電氣測試夾具圍繞垂直于所述基板卷材的表面的軸線旋轉。

12.如權利要求1所述的電氣測試系統，其中所述基準感測系統沿著所述卷材傳送路徑位于所述數字成像系統的下游。