[發(fā)明專利]壓力傳感器和差壓傳感器以及使用它們的質(zhì)量流量控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580054213.5
• 申請日: 2015-10-06
• 公開（公告）號: CN107110727B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鈴木健悟;梅山貴博;坂口勇夫
• 申請（專利權(quán)）人: 日立金屬株式會社
• 主分類號: G01L9/04
• 分類號: G01L9/04;G01L13/02;H01L29/84
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;楊藝

1.一種壓力傳感器，其特征在于，包括：

因流體的壓力而變形的膜片；覆蓋該膜片的整面的彈性體，該彈性體的一側(cè)與所述膜片接合；和應(yīng)變傳感器，該應(yīng)變傳感器接合設(shè)置在該彈性體的另一側(cè)的遠(yuǎn)離與所述膜片的中心對應(yīng)的位置的端部側(cè)，將與所述膜片的變形連動的所述彈性體的變形作為應(yīng)變檢測，

所述彈性體由具有與形成所述應(yīng)變傳感器的材料的線膨脹系數(shù)相近的線膨脹系數(shù)的材料構(gòu)成。

2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述膜片由不銹鋼或該不銹鋼與其它金屬材料的包層鋼材構(gòu)成。

3.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述膜片呈圓筒形，并且中央部形成得比端部薄，該形成得薄的中央部的中心凸起，該凸起的部分與所述彈性體接合。

4.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述應(yīng)變傳感器由硅構(gòu)成，并且，所述彈性體由具有與所述硅的線膨脹系數(shù)接近的線膨脹系數(shù)的可伐合金、42合金和因瓦合金中的任一者構(gòu)成。

5.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述彈性體呈圓筒形，并且，中央部形成得比端部薄，在所述彈性體的除設(shè)置所述應(yīng)變傳感器的部分以外的部分形成有孔。

6.如權(quán)利要求5所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述孔以夾著所述應(yīng)變傳感器的方式形成，是從所述彈性體的一端延伸到另一端的2個隙縫，并且該隙縫貫通所述彈性體。

7.如權(quán)利要求5所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述孔以夾著所述應(yīng)變傳感器的方式形成，包括：貫通所述彈性體的第一貫通孔；和與該第一貫通孔連通的第二貫通孔，該第二貫通孔形成于與設(shè)置有所述應(yīng)變傳感器的一側(cè)相反的一側(cè)的所述彈性體。

8.如權(quán)利要求5所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述孔以夾著所述應(yīng)變傳感器的方式形成，是從所述彈性體的一端延伸到另一端的2個凹部，并且該凹部不貫通所述彈性體。

9.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述彈性體具有與所述應(yīng)變傳感器的大小同等的寬度或大于所述應(yīng)變傳感器的大小的寬度，至少與所述膜片的中央部和外周部這2個部位接合。

10.如權(quán)利要求9所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述彈性體與所述膜片的中央部在一個點接合，所述彈性體與所述膜片的外周部在整周接合。

11.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述彈性體和所述應(yīng)變傳感器用金屬或低熔點玻璃接合。

12.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于：

將所述彈性體和所述應(yīng)變傳感器接合的金屬由Au/Sn或Au/Ge構(gòu)成。

13.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于：

將所述彈性體和所述應(yīng)變傳感器接合的低熔點玻璃由釩系玻璃構(gòu)成。

14.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于：

所述膜片在其中央部與端部之間形成有多個彎曲部。

15.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，包括：

固定所述膜片的外周部的支承件；和固定于該支承件的氣密殼體，

該氣密殼體以包圍所述膜片、所述彈性體和所述應(yīng)變傳感器的方式設(shè)置，所述支承件和所述氣密殼體以能夠維持氣密性的方式固定。