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[發(fā)明專利]柱狀形成物用樹脂組合物、附有柱狀形成物的基板的制造方法和附有柱狀形成物的基板有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201580054034.1 申請日: 2015-11-09
公開(公告)號: CN106796375B 公開(公告)日: 2020-07-31
發(fā)明(設計)人: 千吉良敦子;俵屋誠治;酒井優(yōu) 申請(專利權)人: 大日本印刷株式會社;三洋化成工業(yè)株式會社
主分類號: G02F1/1339 分類號: G02F1/1339;G03F7/027
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 蔣亭
地址: 日本國*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 柱狀 形成 樹脂 組合 附有 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種柱狀形成物用樹脂組合物,其特征在于,是在具有基板和柱狀形成物的附有柱狀形成物的基板中,用于形成所述柱狀形成物的柱狀形成物用樹脂組合物,所述柱狀形成物形成于所述基板上,且使所述基板與作為電子元件時所使用的對置基板之間保持一定距離,其中,

含有單體(A)、聚合物(B)、和光聚合引發(fā)劑(C),

所述單體(A)的質量與所述聚合物(B)的質量比率為所述單體(A)的質量∶所述聚合物(B)的質量=70∶30~95∶5的范圍內,

作為所述單體(A)含有HLB值在8~20的范圍內的單體,

所述單體(A)具有氧亞烷基鏈。

2.如權利要求1所述的柱狀形成物用樹脂組合物,其特征在于,所述單體(A)是多官能(甲基)丙烯酸酯。

3.如權利要求1或2所述的柱狀形成物用樹脂組合物,其特征在于,所述聚合物(B)是具有(甲基)丙烯?;汪然木酆衔铩?/p>

4.如權利要求1或2所述的柱狀形成物用樹脂組合物,其特征在于,所述聚合物(B)是具有(甲基)丙烯酰基和羧基的環(huán)氧樹脂。

5.一種附有柱狀形成物的基板的制造方法,其特征在于,是包括下述工序的附有柱狀形成物的基板的制造方法:

在基板上涂布樹脂組合物而形成涂膜的涂布工序;以及

將所述涂膜進行曝光后,通過進行顯影而形成柱狀形成物的曝光顯影工序,其中,

所述樹脂組合物含有單體(A)、聚合物(B)、和光聚合引發(fā)劑(C),

所述單體(A)的質量與所述聚合物(B)的質量比率為所述單體(A)的質量∶所述聚合物(B)的質量=70∶30~95∶5的范圍內,

作為所述單體(A)含有HLB值在8~20的范圍內的單體,

所述單體(A)具有氧亞烷基鏈。

6.一種附有柱狀形成物的基板,其特征在于,是具有基板,和形成于所述基板上且使所述基板與作為電子元件時所使用的對置基板之間保持一定距離的柱狀形成物的附有柱狀形成物的基板,其中,

所述柱狀形成物是使樹脂組合物固化而成的固化物,

所述樹脂組合物含有單體(A)、聚合物(B)和光聚合引發(fā)劑,

所述單體(A)的質量和所述聚合物(B)的質量比率為所述單體(A)的質量∶所述聚合物(B)的質量=70∶30~95∶5的范圍內,并且

作為所述單體(A),所述樹脂組合物含有HLB值在8~20的范圍內的單體,

所述單體(A)具有氧亞烷基鏈。

7.如權利要求6所述的附有柱狀形成物的基板,其特征在于,所述柱狀形成物的高度為25μm以上,下底尺寸在20μm~50μm的范圍內,寬高比在1.3~2.3的范圍內。

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