[發明專利]183納米激光器及檢驗系統

在審

• 申請號: 201580053715.6
• 申請日: 2015-10-02
• 公開（公告）號: CN106852181A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 勇-霍·亞歷克斯·莊;J·約瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米爾·德里賓斯基;鄧宇俊;約翰·費爾登
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/067;G02F2/00;G02F2/02;G02F1/355;G03F1/84;G01N21/95;G01N21/956
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287
• 代理人: 張世俊

1.一種用于產生具有在大約180nm與大約185nm的范圍內的輸出波長的激光器輸出光的激光器組合件，所述激光器組合件包括：

基頻激光器，其經配置以產生具有基頻頻率的基頻光；

光學參數系統OPS，其耦合到所述基頻激光器使得所述OPS接收所述基頻光的第一部分，且所述OPS經配置以產生具有小于所述基頻頻率的經下變頻頻率的經下變頻信號；

五次諧波產生器，其耦合到所述基頻激光器使得所述五次諧波產生器接收所述基頻光的第二部分，且所述五次諧波產生器經配置以產生具有等于所述基頻頻率的五倍的五次諧波頻率的五次諧波光；及

混頻模塊，其經光學耦合以接收來自所述OPS的所述經下變頻信號及來自所述五次諧波產生器的所述五次諧波光，且經配置以通過混合所述經下變頻信號與所述五次諧波光而產生所述激光器輸出光，

其中所述OPS包括：

經下變頻種子信號產生器，其經配置以產生具有所述經下變頻頻率及第一功率級的經下變頻種子信號；及

光學參數放大器OPA，其經配置使得所述經下變頻種子信號與所述基頻光的一部分通過穿過非線性晶體一次而混合，其中所述非線性晶體經配置使得所述混合產生處于大于所述第一功率級的十倍的第二功率級的所述經下變頻信號，且

其中所述OPS經配置使得所述經下變頻頻率與所述五次諧波頻率的和產生在大約180nm與大約185nm的所述范圍內的所述激光器輸出光。

2.根據權利要求1所述的激光器組合件，其中所述基頻激光器經配置以產生處于具有等于大約1064nm、大約1053nm、大約1047nm及大約1030nm中的一者的對應波長的所述基頻頻率的所述基頻光。

3.根據權利要求1所述的激光器組合件，其中所述五次諧波產生器及所述混頻模塊中的至少一者包括經退火CLBO晶體、經氘處理CLBO晶體及經氫處理CLBO晶體中的一者。

經退火的經氫處理硼酸銫鋰CLBO晶體。

4.根據權利要求1所述的激光器組合件，其中所述OPA包括：

光束組合器，其經配置以組合所述基頻光的所述第一部分與所述經下變頻種子信號；

非線性晶體，其經配置以接收所述經下變頻種子信號并通過對所述基頻光的所述第一部分的受激下變頻而放大所述經下變頻種子信號；及

光束分裂器，其經配置以分離所述經下變頻信號與從所述非線性晶體接收的其它頻率，且將所述經下變頻信號引導到所述混頻模塊。

5.根據權利要求4所述的激光器組合件，其中所述經下變頻種子信號產生器經配置以產生處于在1mW到500mW的范圍內的所述第一功率級的所述經下變頻種子信號，且其中所述OPA經配置以產生處于在1W到20W的范圍內的所述第二功率級的所述經下變頻信號。

6.根據權利要求4所述的激光器組合件，其中光束組合器進一步經配置以反射第一波長同時透射第二波長，使得所述基頻光部分與所述經下變頻種子信號基本上共線地被發射穿過所述非線性晶體。

7.根據權利要求6所述的激光器組合件，其中所述非線性晶體包括以下各項中的一者：周期性極化鈮酸鋰PPLN、周期性極化經氧化鎂摻雜鈮酸鋰、周期性極化化學計量比鉭酸鋰PPSLT、周期性極化經氧化鎂摻雜化學計量比鉭酸鋰及周期性極化磷酸鈦氧鉀PPKTP。

8.根據權利要求1所述的激光器組合件，其中所述OPS的所述經下變頻種子信號產生器包括二極管激光器。

9.根據權利要求1所述的激光器組合件，

其中所述OPS進一步包括經配置以將所述基頻光的所述第一部分分裂成第一子部分及第二子部分的光束分裂器，

其中所述經下變頻種子信號產生器包括經配置以通過轉換所述第一子部分而產生所述經下變頻種子信號的光學參數振蕩器OPO；且

其中所述OPA經配置以混合所述經下變頻種子信號與所述第二子部分。