[發(fā)明專利]熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580053204.4
• 申請日: 2015-08-19
• 公開（公告）號: CN107078204B
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中康浩;坂井田敦資;谷口敏尚;白石芳彥
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社電裝
• 主分類號: H01L35/34
• 分類號: H01L35/34;H01L35/16;H01L35/32;H02N3/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;青煒

1.一種熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，其中，包含：

第一工序，其中，準(zhǔn)備如下的絕緣基材(10)，該絕緣基材(10)含有熱塑性樹脂，形成沿厚度方向貫通上述熱塑性樹脂的第一導(dǎo)通孔(11)和第二導(dǎo)通孔(12)，并且在上述第一導(dǎo)通孔中填充有將有機(jī)溶劑添加至多個金屬原子維持規(guī)定的結(jié)晶構(gòu)造的合金的粉末并漿化的第一導(dǎo)電漿(41)，在上述第二導(dǎo)通孔中填充有將有機(jī)溶劑添加至種類與上述合金不同的金屬的粉末并漿化的第二導(dǎo)電漿(51)；

第二工序，其中，在上述絕緣基材的表面(10a)配置具有與對應(yīng)的上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿接觸的表面圖案(21)的表面保護(hù)部件(20)，并且在上述絕緣基材的背面(10b)配置具有與對應(yīng)的上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿接觸的背面圖案(31)的背面保護(hù)部件(30)，形成層疊體(80)；以及

第三工序，其中，對上述層疊體一邊加熱一邊從上述層疊體的層疊方向加壓，將上述第一導(dǎo)電漿固相燒結(jié)，構(gòu)成第一層間連接部件(40)，并且將上述第二導(dǎo)電漿固相燒結(jié)，構(gòu)成第二層間連接部件(50)，將上述第一層間連接部件及上述第二層間連接部件與上述表面圖案及上述背面圖案電連接，

上述第三工序包含：

溶劑蒸發(fā)工序，其中，將上述層疊體加熱到上述有機(jī)溶劑蒸發(fā)的溫度，亦即比上述熱塑性樹脂的融點(diǎn)低且比上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿的燒結(jié)溫度低的溫度，由此使被添加到上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿的上述有機(jī)溶劑蒸發(fā)；

漿料壓縮工序，其中，在上述溶劑蒸發(fā)工序后，將上述層疊體加熱到上述熱塑性樹脂彈性變形的溫度，亦即比上述熱塑性樹脂的融點(diǎn)低且比上述第一導(dǎo)電漿及上述第二導(dǎo)電漿的燒結(jié)溫度低的溫度，并且沿上述層疊體的層疊方向加壓上述層疊體，由此使上述熱塑性樹脂彈性變形，從而將垂直于上述層疊體的層疊方向的方向的壓力施加于上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿；以及

漿料固相燒結(jié)工序，其中，在上述漿料壓縮工序后，將上述層疊體加熱到上述熱塑性樹脂的融點(diǎn)以上的溫度，亦即上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿的燒結(jié)溫度以上的溫度，并且沿上述層疊體的層疊方向加壓上述層疊體，由此使上述熱塑性樹脂向上述層疊體的外部流出并且使上述熱塑性樹脂在上述層疊體的內(nèi)部流動，將垂直于上述層疊體的層疊方向的方向的壓力施加于上述第一導(dǎo)電漿和上述第二導(dǎo)電漿，使上述第一導(dǎo)電漿固相燒結(jié)，構(gòu)成上述第一層間連接部件，并且使上述第二導(dǎo)電漿固相燒結(jié)，構(gòu)成上述第二層間連接部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，其中，

在上述第一工序中，所準(zhǔn)備的上述絕緣基材中，由上述熱塑性樹脂構(gòu)成的第一層、由熱固化性樹脂構(gòu)成的第二層、由熱塑性樹脂構(gòu)成的第三層沿上述厚度方向被依次配置，并且以沿上述厚度方向貫通上述第一層、上述第二層以及上述第三層的方式形成有上述第一導(dǎo)通孔和上述第二導(dǎo)通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，其中，

在上述第一工序中，準(zhǔn)備具有構(gòu)成上述層疊體的周緣部分(81)的部分的上述絕緣基材，

在上述第二工序中，在上述周緣部分也形成配置有上述表面保護(hù)部件、上述背面保護(hù)部件、上述表面圖案以及上述背面圖案的上述層疊體，在上述周緣部分中的上述表面保護(hù)部件中，在上述表面圖案形成有從上述熱電轉(zhuǎn)換裝置的外周連續(xù)直至上述周緣部分的外周的表側(cè)窄縫(81a)，或者在上述周緣部分中的上述背面保護(hù)部件中，在上述背面圖案形成有從上述熱電轉(zhuǎn)換裝置的外周連續(xù)直至上述周緣部分的外周的背側(cè)窄縫(81b)，或者同時形成上述表側(cè)窄縫(81a)和上述背側(cè)窄縫(81b)雙方，從而形成上述層疊體，

在上述第三工序中，使上述熱塑性樹脂通過在上述第二工序中的上述表面保護(hù)部件上形成的上述表側(cè)窄縫、以及上述背面保護(hù)部件上形成的上述背側(cè)窄縫中的至少一方，向上述層疊體的外部流出，

在上述第三工序后，從上述層疊體切除上述周緣部分。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，其中，

在上述第三工序中，使用具有一個或者多個凸部(100a、101a)的沖壓板(100，101)，以使位于不同的兩個上述第一導(dǎo)電漿之間的部分或者位于不同的兩個上述第二導(dǎo)電漿之間的部分被上述凸部加壓的方式，沿上述層疊體的層疊方向加壓上述層疊體。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，其中，

在上述第三工序中，使用具有一個或者多個凸部(100a、101a)的沖壓板(100，101)，以使位于不同的兩個上述第一導(dǎo)電漿之間的部分或者位于不同的兩個上述第二導(dǎo)電漿之間的部分被上述凸部加壓的方式，沿上述層疊體的層疊方向加壓上述層疊體。