[發明專利]抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法

有效

• 申請號: 201580052900.3
• 申請日: 2015-09-28
• 公開（公告）號: CN106796405B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 山中司
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32;C01B7/01;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 彭雪瑞;臧建明

1.一種抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其為制造抗蝕劑膜的圖案化用的有機系處理液的方法，其中所述有機系處理液的Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni、及Zn的金屬元素濃度均為3ppm以下，

所述有機系處理液為有機系顯影液或有機系淋洗液，

制造所述有機系處理液的方法包括蒸餾步驟，

在所述蒸餾步驟中，冷凝器的內部經內襯，并且

所述內襯中的內襯物質為含氟樹脂，

所述冷凝器的內部經內襯是指在冷凝部的構成構件中，與所述有機系處理液接觸的部分經內襯，其中所述內襯是指防銹·防金屬溶出處理。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其中所述有機系顯影液為乙酸丁酯。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其中所述有機系淋洗液為4-甲基-2-戊醇或乙酸丁酯。

4.根據權利要求1所述的抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其中在所述蒸餾步驟中，蒸餾裝置的內部經內襯，所述蒸餾裝置的內部經內襯是指在自蒸餾部至冷凝部為止的構成構件中，與所述有機系處理液接觸的部分經內襯，其中所述內襯是指防銹·防金屬溶出處理。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其包括通過內壁經內襯的流路輸送所述蒸餾步驟中所獲得的餾出液的步驟，所述內壁經內襯是指在送液步驟中，與所述有機系處理液接觸的部分經內襯，其中所述內襯是指防銹·防金屬溶出處理。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的抗蝕劑膜的圖案化用有機系處理液的制造方法，其包括通過內壁由含氟樹脂形成的流路輸送所述蒸餾步驟中所獲得的餾出液的步驟。