[發明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請號: 201580052516.3
• 申請日: 2015-10-22
• 公開（公告）號: CN107078011B
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 木村嘉伸;津野夏規;揚村壽英;小柏剛;富澤淳一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01J37/22;H01J37/28
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 范勝杰;曹鑫

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，

具備：

載物臺，其設置試樣；

帶電粒子束光學系統，其向所述試樣照射帶電粒子束；以及

帶電粒子檢測裝置，其檢測從所述試樣二次地產生的帶電粒子，

所述帶電粒子檢測裝置具備：

光電變換部，其將來自所述試樣的所述帶電粒子變換為光子，并將所述光子變換為模擬電信號；

模擬-數字變換部，其將所述模擬電信號變換為數字信號；以及

運算部，其對所述數字信號進行計數處理，

所述運算部使用與當一個帶電粒子照射到所述試樣時產生的一個事件相關的單位峰值，對所述數字信號中的每單位時間的信號進行多值化，并作為多值計數值而輸出，所述多值表示三值以上。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述運算部輸出試樣圖像的各像素中的所述多值計數值的累計值，作為像素信號。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述運算部區別為所述多值計數值小于預定的閾值的第一組、以及所述多值計數值為所述預定的閾值以上的第二組，并輸出所述第一組的累計值與所述第二組的累計值的每一個，作為像素信號。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述運算部對所述多值計數值執行預定的統計處理，并輸出所述統計處理的結果。

5.根據權利要求4所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述統計處理的結果是所述多值計數值的直方圖、平均以及方差中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述運算部使用預先制作的統計模型，輸出試樣圖像的各像素中的推定計數值，作為像素信號。

7.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述運算部關于試樣圖像的各像素輸出包含相鄰像素的一部分的累計值，作為像素信號。

8.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

當將所述帶電粒子束的電流設為I_p、將元電荷設為e時，所述光電變換部中的模擬放大的頻帶f₁為10×I_p/e以上，所述模擬-數字變換部的采樣頻率f₂為2×f₁以上。

9.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束光學系統切斷所述帶電粒子束來將脈沖帶電粒子照射到所述試樣，

所述帶電粒子束光學系統中的所述脈沖帶電粒子的偏轉控制與所述帶電粒子檢測裝置中的來自所述試樣的放出脈沖帶電粒子的檢測控制同步。

10.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束裝置是掃描電子顯微鏡。