[發明專利]透鏡制造方法、透鏡及透鏡保持裝置

有效

• 申請號: 201580052164.1
• 申請日: 2015-07-17
• 公開（公告）號: CN106715048B
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 平木靖人;伊東賢治;渡邊清一
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: B24B13/005
• 分類號: B24B13/005;B24B41/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

本發明提供一種能夠制造具有優異的光學透射性能的透鏡的透鏡制造方法、具有優異的光學透射性能的透鏡及這種透鏡的制造中所使用的透鏡保持裝置。透鏡制造方法包括將透鏡保持在透鏡保持工具的保持工序及對所保持的透鏡的加工對象面進行加工的加工工序，其中，加工對象面的背面以第1面形狀誤差來加工成非平面形狀，透鏡保持工具的透鏡保持面以小于第1面形狀誤差的第2面形狀誤差來加工成與非平面形狀相同的形狀，在保持工序中，通過使背面與保持面順應地面接觸，對透鏡的形狀進行矯正以使背面沿著保持面，在加工工序中，以通過保持工序已進行矯正的狀態對加工對象面進行加工。

技術領域

本發明涉及一種透鏡制造方法、透鏡及透鏡保持裝置，尤其涉及一種對透鏡進行磨削、研磨的透鏡制造方法、經磨削、研磨來制造的透鏡及這種透鏡的制造中所使用的透鏡保持裝置。

背景技術

當對如透鏡或半導體晶片那樣的加工對象物進行磨削、研磨加工時，將加工對象物的背面粘附于保持工具(夾具)或經由保持工具吸引加工對象物的背面來進行固定，并以已進行固定的狀態使用加工機對加工對象面進行加工。

例如專利文獻1中記載有在透鏡研磨用夾具中安裝透鏡時使用粘合劑或吸引背面的技術。并且，專利文獻2中記載有在對透鏡進行研磨時用多個吸附口來吸附透鏡的技術，專利文獻3、4中記載有經由多孔體或多個孔吸附平面狀半導體晶片的技術。

并且，已知有在將如透鏡那樣的一般為非平面形狀的加工對象物固定在保持工具時，使保持工具的保持面的形狀仿效加工對象物的背面形狀。例如專利文獻5中記載有經由低熔點合金將透鏡背面固定在固定裝置的技術，專利文獻6、7中記載有具有塑性及形狀記憶性的透鏡保持部件根據透鏡的背面形狀相應地變形的技術。

以往技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-79547號公報

專利文獻2：日本特開2002-126960號公報

專利文獻3：日本特開平8-323571號公報

專利文獻4：日本特開2005-118979號公報

專利文獻5：日本特開2003-334748號公報

專利文獻6：日本特開2013-180372號公報

專利文獻7：日本特開2013-180373號公報

發明內容

發明要解決的技術課題

近年來，電影及電視廣播正向圖像的高清晰化發展。伴隨于此，也對拍攝這種高清晰圖像的傳感器進行高像素化而像素尺寸變小。因此，光學系統中所要求的精度也變得非常高。例如通常的球面透鏡中，有時面形狀中發生馬鞍形誤差(所謂的偏離誤差)，并且因與背面的面形狀精度差，在透射波前發生像差。將來，預測該偏離誤差的容許值將達到0.1μm以下。

然而，通過如上所述的以往技術，難以以高精度來加工兩面均為非平面形狀的透鏡。