[發(fā)明專利]金屬氧化物的薄膜、具備該薄膜的有機(jī)電致發(fā)光元件、太陽能電池及薄膜的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580050390.6 | 申請日: | 2015-09-16 |
| 公開(公告)號: | CN106687616A | 公開(公告)日: | 2017-05-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 細(xì)野秀雄;戶田喜丈;渡邊曉;渡邊俊成;伊藤和弘;宮川直通;中村伸宏 | 申請(專利權(quán))人: | 國立研究開發(fā)法人科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu);國立大學(xué)法人東京工業(yè)大學(xué);旭硝子株式會社 |
| 主分類號: | C23C14/08 | 分類號: | C23C14/08;C23C14/34;H01L51/46;H01L51/50 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11219 | 代理人: | 盛曼;金龍河 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金屬 氧化物 薄膜 具備 有機(jī) 電致發(fā)光 元件 太陽能電池 制造 方法 | ||
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





