[發明專利]電子束誘導等離子體（eBIP）在檢驗、測試、調試及表面改質中的應用

在審

• 申請號: 201580050090.8
• 申請日: 2015-09-17
• 公開（公告）號: CN107079572A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 尼德爾·薩利赫;恩里克·斯特林;丹尼爾·托伊特;阿里·格雷澤;羅恩·勒溫格;斯里拉姆·克里什娜斯瓦米
• 申請（專利權）人: 奧寶科技股份有限公司;烽騰科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,李偉

1.一種大氣等離子體設備，包括：

真空圍封罩，在其第一側處具有孔口；

電子源，定位于所述真空圍封罩內部且具有電子提取開口；

提取器，定位于所述提取開口附近且用以從所述電子源提取電子，以形成電子束并引導所述電子束穿過所述孔口，其中所述電子束被配置成具有比所述孔口的直徑小的直徑；

孔徑板，被定位成覆蓋所述孔口，所述孔徑板是導電的且其上附裝有導線，且其中所述孔徑板具有直徑比所述電子束的所述直徑小的孔徑，使得所述孔徑板在所述電子束穿過所述孔徑時減小所述電子束的所述直徑；以及

其中所述電子束用以在其離開所述孔徑時將大氣電離，以維持等離子體柱。

2.如權利要求1所述的大氣等離子體設備，進一步包括電絕緣部件，所述電絕緣部件用以將所述孔徑板與所述真空圍封罩電隔離。

3.如權利要求1所述的大氣等離子體設備，進一步包括定位于所述孔徑板與所述真空圍封罩的所述第一側之間的膜片。

4.如權利要求1所述的大氣等離子體設備，進一步包括差動泵激室，所述差動泵激室附裝至所述真空圍封罩的所述第一側，且其中所述孔徑板附裝至所述差動泵激室的下部分。

5.如權利要求1所述的大氣等離子體設備，其中所述孔徑板包括多個電隔離區段，每一所述電隔離區段耦合至各自的導線。

6.如權利要求1所述的大氣等離子體設備，進一步包括位于所述真空圍封罩內部的靜電透鏡。

7.一種用于對樣本執行電壓襯度成像的方法，包括：

在真空圍封罩中從電子源提取電子束；

將所述電子束從所述真空圍封罩傳送至鄰近環境氣體中，以由此將所述電子束周圍的氣體分子電離，從而產生已電離物質柱；

使所述電子束在樣本的所選區域上進行掃描，所述樣本被定位成與所述電子束進入至所述氣體環境中的進入點相對；

跨越所述等離子體施加電壓電位，以驅動從所述樣本至拾取電極的電子電流；

測量在所述拾取電極與所述樣本之間流動的電子電流量；

利用在所述所選區域上的每一位置處測量的所述電子電流量來產生圖像，并在監視器上顯示所述圖像。

8.一種用于利用電子束誘導等離子體探測體來執行三維對齊的方法，包括：

在真空圍封罩中從電子源提取電子束；

將所述電子束從所述真空圍封罩傳送至鄰近氣體環境中，以由此將所述電子束周圍的氣體分子電離，從而產生已電離物質柱，所述已電離物質柱界定等離子體探測體；

使所述等離子體探測體在樣本的所選區域上進行掃描，所述樣本被定位成與所述電子束進入至所述氣體環境中的進入點相對；

跨越所述等離子體施加電壓電位，以驅動從所述樣本至拾取電極的電子電流；

測量在所述拾取電極與所述樣本之間流動的電子電流量；

測量從所述樣本散射的經反向散射電子；

利用經反向散射電子的測量值來確定所述等離子體探測體的橫向對齊；

利用所述電子電流的測量值來確定所述等離子體探測體的垂直對齊。

9.如權利要求8所述的方法，進一步包括利用先前知曉的所述樣本的材料組成及形貌中的至少一個來進行更準確對齊。

10.如權利要求8所述的方法，其中利用電子束誘導等離子體探測體進行的三維對齊結合基于電子束誘導等離子體探測體的加工或測量應用而用作對齊能力。

11.如權利要求8所述的方法，其中利用電子束誘導等離子體探測體進行的三維對齊結合利用電壓成像光學系統進行的LCD陣列測試而用作對齊能力。

12.如權利要求8所述的方法，其中所述電子束誘導等離子體的橫向尺寸大于對齊特征的橫向尺寸。