[發(fā)明專利]投射鏡頭、投射曝光設(shè)備和EUV微光刻的投射曝光方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580049768.0
• 申請(qǐng)日: 2015-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107077074B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S.安德烈;D.戈?duì)柕?/a>;T.格魯納;J.勞夫;N.瓦布拉;R.舍梅;S.施耐德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種投射鏡頭(PO)，用于通過(guò)具有來(lái)自極紫外范圍(EUV)的操作波長(zhǎng)λ的電磁輻射將設(shè)置于所述投射鏡頭的物平面(OS)中的圖案成像至所述投射鏡頭的像平面(IS)中，所述投射鏡頭包含：

多個(gè)反射鏡(M1-M6)，其具有設(shè)置于所述物平面與所述像平面之間的投射射束路徑中的反射鏡表面，使得設(shè)置于所述物平面中的掩模(M)的圖案通過(guò)所述反射鏡可成像至所述像平面中，

其中在平行于掃描方向行進(jìn)的第一方向上的第一成像比例的絕對(duì)值小于在垂直于該第一方向的第二方向上的第二成像比例的絕對(duì)值，

其特征在于校正由掩模母版位移所造成的像散波前像差部分的動(dòng)態(tài)波前操縱系統(tǒng)。

2.如權(quán)利要求1的投射鏡頭，其特征在于：該動(dòng)態(tài)波前操縱系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地配置，使得由掩模母版位移所造成的像散波前像差部分可在掃描操作過(guò)程中校正。

3.如權(quán)利要求1或2的投射鏡頭，其特征在于：該動(dòng)態(tài)波前操縱系統(tǒng)具有第一操縱器，其具有設(shè)置于該投射射束路徑中的可移位反射鏡(M1-M6)和相對(duì)于參考位置可逆地改變?cè)摲瓷溏R的位置的第一致動(dòng)裝置(DR1-DR6)。

4.如權(quán)利要求3項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：該位移包含選自下列組的至少一個(gè)位移：

該反射鏡的軸向位移，其平行于正交地定向至該物平面的參考軸(AX)；

該反射鏡的橫向位移，其在垂直于正交地定向至該物平面的參考軸(AX)的橫向方向上；

該反射鏡的傾斜；

具有圍繞旋轉(zhuǎn)軸的反射自由形式表面的反射鏡的旋轉(zhuǎn)。

5.如權(quán)利要求3或4的投射鏡頭，其特征在于：該第一操縱器動(dòng)態(tài)地設(shè)計(jì)為，使得該反射鏡的位移在在一個(gè)方向上行進(jìn)的掃描操作的開(kāi)始與結(jié)束之間的時(shí)間間隔中，根據(jù)從起始位置經(jīng)過(guò)至少一個(gè)中間位置返回該起始位置的可預(yù)定義移動(dòng)路線進(jìn)行。

6.如權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：多個(gè)所述反射鏡或所有所述反射鏡(M1-M6)分別具有相對(duì)于參考位置可逆地改變?cè)摲瓷溏R的位置的致動(dòng)裝置(DR1-DR6)。

7.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：該波前操縱系統(tǒng)具有第二操縱器，其具有設(shè)置于該投射射束路徑中并具有反射鏡表面(MS6)的可變形反射鏡(M6)和用于相對(duì)于參考表面形狀可逆像散地改變?cè)摲瓷溏R表面的表面形狀的致動(dòng)裝置(DR6′)。

8.如權(quán)利要求7的投射鏡頭，其特征在于：該投射鏡頭在該物平面與該像平面之間具有至少一個(gè)光瞳面(PF2)，且可變形反射鏡(M6)設(shè)置為光學(xué)地接近該光瞳面，其中具有該像散地可變形反射鏡表面的該反射鏡優(yōu)選設(shè)置為使得在該反射鏡表面處，子孔徑比SAR在0.5至1之間、特別是在0.7至1的范圍內(nèi)。

9.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：該第一操縱器和/或該第二操縱器動(dòng)態(tài)地設(shè)計(jì)為使得與該反射鏡的光學(xué)效應(yīng)的改變相關(guān)的致動(dòng)移動(dòng)，可在少于一秒的短時(shí)間尺度內(nèi)、特別是在十分之一秒或數(shù)十分之一秒的范圍內(nèi)產(chǎn)生。

10.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：在具有較大絕對(duì)值的成像比例與具有較小絕對(duì)值的成像比例之間的尺度比在1.1至2.5的范圍內(nèi)、特別是在1.5至2的范圍內(nèi)。

11.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：該投射鏡頭在該第二方向上的前焦距就絕對(duì)值而言小于3m，其中所述前焦距優(yōu)選小于2m、特別是小于1m。

12.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的投射鏡頭，其特征在于：該投射鏡頭設(shè)計(jì)用于成像在該掃描方向上彎曲的環(huán)場(chǎng)(RF)。

13.如權(quán)利要求12的投射鏡頭，其特征在于：該環(huán)場(chǎng)的曲率定尺寸使得在該像平面上，在該掃描方向上在后的場(chǎng)邊緣處的中間場(chǎng)點(diǎn)與在該場(chǎng)邊緣的邊際處的邊際場(chǎng)點(diǎn)之間在該掃描方向上所測(cè)量的距離，對(duì)應(yīng)于垂直于該掃描方向所測(cè)量的場(chǎng)寬度的5％以上、優(yōu)選為15％以上、特別是25％以上。