[發明專利]具有用于粗泄漏測試的測量體積的薄膜腔

有效

• 申請號: 201580049140.0
• 申請日: 2015-09-14
• 公開（公告）號: CN107076636B
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 西爾維奧·德克爾;羅爾夫·諾伯特
• 申請（專利權）人: 英福康有限責任公司
• 主分類號: G01M3/32
• 分類號: G01M3/32
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 陽開亮

1.一種薄膜腔，用于容納測試目標，所述測試目標將會被測試是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔具有包圍薄膜腔體積的腔壁，所述腔壁具有至少一個柔性腔壁區域；其特征在于：鄰近所述柔性腔壁區域的測量體積被設置在所述柔性腔壁區域的被相對于所述薄膜腔體積放置的一側，并且被與所述薄膜腔體積氣密地分隔；其中，所述測量體積與壓力傳感器或流量傳感器以氣體傳輸方式連接，所述壓力傳感器或流量傳感器用于監測在抽空所述薄膜腔的期間所述測量體積的參數，從而根據監控的結果來估算所述測試目標中的可能的泄漏的尺寸。

2.如權利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述測量體積被通過通風閥與環繞所述測量體積的大氣連接。

3.如權利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述薄膜腔具有第一和第二薄膜膜層，所述第一和第二薄膜膜層在所述薄膜腔的關閉狀態下包圍所述薄膜腔體積，其中第一測量體積鄰接所述第一薄膜膜層，而第二測量體積鄰接所述第二薄膜膜層。

4.如權利要求3所述的薄膜腔，其特征在于：所述第一測量體積和所述第二測量體積被以氣體輸送方式連接。

5.如權利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述測量體積由在所述柔性腔壁部分的下側支撐所述柔性腔壁部分的測量腔體環和在與所述柔性腔壁部分相反的一側封閉所述測量腔體環的測量腔體蓋形成。

6.如權利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述薄膜腔具有用于將測試目標放置到所述薄膜腔體積中的打開狀態、以及關閉狀態；在所述關閉狀態下所述薄膜腔體積被氣密地封閉；其中所述測量體積被氣密地封閉，與所述薄膜腔的封閉狀態無關。

7.一種用于測試測試目標是否有泄漏的存在、以及用于使用如權利要求1-2、5-6中任意一項所述的薄膜腔的方法，其特征在于包括以下步驟：

將所述測試目標放置在所述薄膜腔中；

封閉所述薄膜腔；

抽空所述薄膜腔；以及

在抽空所述薄膜腔的期間監測所述測量體積的參數，從而根據監控的結果來估算所述測試目標中的可能的泄漏的尺寸。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于：如果所述測量體積在所述薄膜腔被抽空時增加，則檢測到粗泄漏。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于：在所述薄膜腔被封閉并抽空之后，如果沒有粗泄漏在所述測試目標中被檢測到，則所述測量體積被排空。

10.如權利要求8所述的方法，其特征在于：被放置在所述測量體積中的所述測試目標所影響的所述測量體積的變化被通過測量所述薄膜腔中的壓力、或者通過測量所述薄膜腔中的或者來自所述薄膜腔的氣體流量來確定。

11.如權利要求8所述的方法，其特征在于：所述測試目標的絕對體積被通過測量所述薄膜腔中的壓力的變化、或者通過測量所述薄膜腔中的或者來自所述薄膜腔的氣體流量來確定。