[發(fā)明專利]抗蝕劑圖案被覆用涂布液有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580049091.0 | 申請日： | 2015-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN106715619B | 公開（公告）日： | 2020-02-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 西田登喜雄;志垣修平;藤谷德昌;遠(yuǎn)藤貴文;坂本力丸 | 申請（專利權(quán)）人： | 日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | C09D201/06 | 分類號： | C09D201/06;C09D201/08;C08F212/12;C09D5/00;C09D7/20;C09D183/04;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/311 |
| 代理公司： | 11247 北京市中咨律師事務(wù)所 | 代理人： | 馬妮楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 抗蝕劑 圖案 被覆 用涂布液 | ||
1.一種抗蝕劑圖案被覆用涂布液，其含有：
A成分：含有至少1個羥基或羧基的聚合物，
B成分：A-SO3H表示的磺酸，式A-SO3H中，A表示碳原子數(shù)1～16的直鏈狀或支鏈狀的烷基或氟代烷基、具有至少1個該烷基或氟代烷基作為取代基的芳香族基團(tuán)、或可以具有取代基的碳原子數(shù)4～16的脂環(huán)式基團(tuán)，以及，
C成分：包含R1-O-R2及/或R1-C(＝O)-R2表示的化合物的、可溶解上述聚合物的有機(jī)溶劑，式R1-O-R2、R1-C(＝O)-R2中，R1表示碳原子數(shù)3～16的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀的烷基或氟代烷基，R2表示碳原子數(shù)1～16的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀的烷基或氟代烷基，
其中，上述作為A成分的聚合物為具有至少2種式(A)表示的結(jié)構(gòu)單元的共聚物，
式中，R0表示氫原子或甲基，
并且所述共聚物具有：
L表示可具有至少1個取代基的二價的芳香族基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，和
L表示-C(＝O)-O-基的結(jié)構(gòu)單元及/或表示-C(＝O)-NH-基的結(jié)構(gòu)單元，該-C(＝O)-O-基或-C(＝O)-NH-基的碳原子與聚合物的主鏈鍵合，
X表示氫原子、或碳原子數(shù)1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基或烷氧基，該烷基中的至少1個氫原子可被鹵素原子或羥基取代。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑圖案被覆用涂布液，其中，上述作為A成分的聚合物進(jìn)一步含有碳原子數(shù)1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基的聚合物，所述碳原子數(shù)1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基的至少1個氫原子可被鹵素原子取代。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑圖案被覆用涂布液，其中，上述作為A成分的聚合物還含有碳原子數(shù)1～10的環(huán)狀的烷基，所述碳原子數(shù)1～10的環(huán)狀的烷基的至少1個氫原子可被鹵素原子取代。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的抗蝕劑圖案被覆用涂布液，其中，上述L中的二價的芳香族基團(tuán)為亞苯基或亞萘基。
5.一種抗蝕劑圖案被覆用涂布液，其含有：
A成分：含有至少1個羥基或羧基的聚合物，
B成分：A-SO3H表示的磺酸，式A-SO3H中，A表示碳原子數(shù)1～16的直鏈狀或支鏈狀的烷基或氟代烷基、具有至少1個該烷基或氟代烷基作為取代基的芳香族基團(tuán)、或可以具有取代基的碳原子數(shù)4～16的脂環(huán)式基團(tuán)，以及，
C成分：包含R1-O-R2及/或R1-C(＝O)-R2表示的化合物的、可溶解上述聚合物的有機(jī)溶劑，式R1-O-R2、R1-C(＝O)-R2中，R1表示碳原子數(shù)3～16的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀的烷基或氟代烷基，R2表示碳原子數(shù)1～16的直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀的烷基或氟代烷基，
其中，上述作為A成分的聚合物為具有下述式(1-1)～式(1-4)中任一式表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物，
式中，Ar1表示含有至少1個碳原子數(shù)6～18的芳香族環(huán)的二價、四價、六價或八價的有機(jī)基團(tuán)，Ar2表示介由亞甲基或叔碳原子與Ar1鍵合的含有碳原子數(shù)6～18的芳香族環(huán)的二價的有機(jī)基團(tuán)，上述芳香族環(huán)中的至少1個具有羥基及/或羧基作為取代基。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗蝕劑圖案被覆用涂布液，上述作為A成分的聚合物進(jìn)一步含有碳原子數(shù)1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基，所述碳原子數(shù)1～10的直鏈狀或支鏈狀的烷基的至少1個氫原子可被鹵素原子取代。
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